恭喜同濟大學姜本學獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜同濟大學申請的專利基于尖晶石陶瓷襯底的異質結構襯底及其制備方法和應用獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119421633B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-18發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510014130.9,技術領域涉及:H10N30/07;該發明授權基于尖晶石陶瓷襯底的異質結構襯底及其制備方法和應用是由姜本學設計研發完成,并于2025-01-06向國家知識產權局提交的專利申請。
本基于尖晶石陶瓷襯底的異質結構襯底及其制備方法和應用在說明書摘要公布了:本發明屬于光電集成技術領域,涉及基于尖晶石陶瓷襯底的異質結構襯底及其制備方法和應用,所述制備方法包括如下步驟:在尖晶石陶瓷襯底表面鍍上第一類金剛石薄膜;將供體壓電襯底的一面與第二類金剛石薄膜的表面鍵合,供體壓電襯底的另一面與支撐襯底鍵合;第一類金剛石薄膜的表面與第二類金剛石薄膜的表面鍵合;采用智能切割工藝將支撐襯底與一部分供體壓電襯底剝離,形成LN或LT壓電薄膜,得到類金剛石薄膜壓電薄膜復合異質襯底,可有效使用在高頻射頻芯片濾波器中。與現有技術相比,本發明的方法可有效提高襯底的熱導率、熱穩定性和電氣性能,具有較高的應用價值。
本發明授權基于尖晶石陶瓷襯底的異質結構襯底及其制備方法和應用在權利要求書中公布了:1.一種基于尖晶石陶瓷襯底的異質結構襯底的制備方法,其特征在于,所述制備方法包括如下步驟:在尖晶石陶瓷襯底表面鍍上第一類金剛石薄膜;將供體壓電襯底的一面與第二類金剛石薄膜的表面鍵合,供體壓電襯底的另一面與支撐襯底鍵合;第一類金剛石薄膜的表面與第二類金剛石薄膜的表面鍵合;采用智能切割工藝將支撐襯底與一部分供體壓電襯底剝離,形成LN和或LT壓電薄膜,得到類金剛石薄膜壓電薄膜復合異質襯底。
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