恭喜山東大學姚鵬獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜山東大學申請的專利單晶材料V形溝槽陣列的超精密復合加工方法及對準方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119566514B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-18發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510115120.4,技術領域涉及:B23K26/00;該發明授權單晶材料V形溝槽陣列的超精密復合加工方法及對準方法是由姚鵬;王海仲;王慶偉;辛學瑞;周培法;王婷婷;劉祥;褚東凱;屈碩碩;黃傳真設計研發完成,并于2025-01-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本單晶材料V形溝槽陣列的超精密復合加工方法及對準方法在說明書摘要公布了:本發明屬于單晶材料極尖V形溝槽陣列加工領域,具體公開了一種單晶材料V形溝槽陣列的超精密復合加工方法及對準方法,在確定單晶材料的晶向后,采用飛秒激光沿著與所述晶向平行或和垂直的方向進行加工,在單晶材料表面形成微結構陣列;將加工后的單晶材料在各向異性刻蝕液中進行濕法刻蝕;將中得到的單晶材料放置在分切加工系統的工裝臺上,利用分切加工系統的金剛石刀具對V形溝槽進一步加工,在加工時,將金剛石刀具的刀尖與溝槽底部對準之后進行分切加工。
本發明授權單晶材料V形溝槽陣列的超精密復合加工方法及對準方法在權利要求書中公布了:1.單晶材料V形溝槽陣列的超精密復合加工對準方法,其特征在于,如下:將已加工有V形溝槽陣列的單晶材料放置在工裝臺上;使光譜共焦位移傳感器的激光焦點移動至指定V形溝槽位置,通過光譜共焦位移傳感器獲取指定V形溝槽的槽底坐標;所述通過光譜共焦位移傳感器獲取指定V形溝槽的槽底坐標的方法如下:將光譜共焦位移傳感器的激光焦點移動至第一條V形溝槽和單晶材料頂面平面段交接邊緣位置,進行粗對準;使光譜共焦位移傳感器在單晶材料頂面沿理想V形溝槽截面形狀做插補運動,得到實際溝槽輪廓與光譜共焦位移傳感器移動軌跡的偏差圖像;根據偏差圖像對光譜共焦位移傳感器移動起點進行調整,使其與第一條V形溝槽和單晶材料頂面平面段交接邊緣對齊,進而獲得第一條V形溝槽槽底坐標;轉動刀具在單晶材料表面刻劃出一條V形溝槽,將光譜共焦位移傳感器移動到此V形溝槽底部處,得到刀具刀尖坐標,從而得到刀具刀尖與指定V形溝槽槽底相對坐標關系;根據相對坐標關系將刀具刀尖與指定V形溝槽槽底精確對準。
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