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龍圖騰網恭喜中電科風華信息裝備股份有限公司申請的專利一種實現晶圓多模式多位置檢測的方法和系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115513082B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211183074.4，技術領域涉及：H01L21/66；該發明授權一種實現晶圓多模式多位置檢測的方法和系統是由朱干軍;胡贇;謝旭凱;高昆;王旭東;李昊然;徐正一設計研發完成，并于2022-09-27向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種實現晶圓多模式多位置檢測的方法和系統在說明書摘要公布了：本發明公開了一種實現晶圓多模式多位置組合測量的方法和系統，包括：S1、在同一晶圓上的一測量位置上使用基于掃描運行的線掃描成像檢測系統進行線掃描成像檢測和在另一平行測量位置上使用基于步進運動的面陣成像檢測系統進行面陣成像檢測；S2、令運行臺以加速—勻速—減速—靜止的形式周期重復運行，在勻速運動段內，線掃描成像檢測系統工作；在靜止運動段內面陣成像檢測系統工作；S3、在運動臺往復運動一次或多次中，使線掃描成像檢測系統遍歷掃描路徑上的全部晶圓待測面積，與此同時使面陣成像檢測系統遍歷步進路徑上的全部晶圓待測面積。本發明使用混合式檢測運動控制方式，滿足了新工藝對設備多模態檢測量測的聯合測量要求。

本發明授權一種實現晶圓多模式多位置檢測的方法和系統在權利要求書中公布了：1.一種實現晶圓多模式多位置檢測的方法，其特征在于，包括以下步驟：S1、在同一晶圓上的一測量位置上使用基于掃描運行的線掃描成像檢測系統進行線掃描成像檢測和在另一平行測量位置上使用基于步進運動的面陣成像檢測系統進行面陣成像檢測；S2、令運行臺以加速—勻速—減速—靜止的形式周期重復運行，在勻速運動段內，線掃描成像檢測系統工作，采集數據，在其它時間段不采集數據；在靜止運動段內，面陣成像檢測系統工作，采集數據，在其他時間段不采集數據；S3、在運動臺往復運動一次或多次中，使線掃描成像檢測系統遍歷分段掃描路徑上的全部晶圓待測面積，與此同時使面陣成像檢測系統遍歷步進路徑上的全部晶圓待測面積；以及S4、使運動臺沿往復運動的垂直方向平移，使晶圓的已在步進路徑上檢測的區域移動至分段掃描路徑上或者使晶圓的已在分段掃描路徑上檢測的區域移動至步進路徑上，重復執行上述步驟S3，實現晶圓的多位置多模式檢測。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中電科風華信息裝備股份有限公司，其通訊地址為：030000 山西省太原市萬柏林區和平南路115號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。