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龍圖騰網(wǎng)恭喜華海清科股份有限公司申請的專利一種晶圓滑片風(fēng)險(xiǎn)的評估方法及化學(xué)機(jī)械拋光裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115964863B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202211570496.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G06F30/20；該發(fā)明授權(quán)一種晶圓滑片風(fēng)險(xiǎn)的評估方法及化學(xué)機(jī)械拋光裝置是由楊朝霞;溫世乾;倪孟騏;趙德文;路新春設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-12-08向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種晶圓滑片風(fēng)險(xiǎn)的評估方法及化學(xué)機(jī)械拋光裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供了一種晶圓滑片風(fēng)險(xiǎn)的評估方法及化學(xué)機(jī)械拋光裝置，包括：S100、采集氣膜和保持環(huán)的摩擦力矩，分別記為torqueA和torqueB；對保持環(huán)的平均摩擦力fRR賦值，使總合摩擦力矩等于torqueB，根據(jù)fRR計(jì)算保持環(huán)所受的側(cè)向力FRR和摩擦系數(shù)μs；對氣膜的平均摩擦力fw賦值，使總合摩擦力矩等于torqueA，根據(jù)fw計(jì)算晶圓所受的側(cè)向摩擦力FW和摩擦系數(shù)μk；定義邊界條件a和b，令a＝μs?μk，b＝FRR?FW，若a?0.5和或b?1500，則晶圓存在滑片風(fēng)險(xiǎn)。本發(fā)明提供的滑片評估方法根據(jù)側(cè)向摩擦力和摩擦系數(shù)的大小可判斷當(dāng)前工況和其他工況的差異，可復(fù)現(xiàn)現(xiàn)場工況。

本發(fā)明授權(quán)一種晶圓滑片風(fēng)險(xiǎn)的評估方法及化學(xué)機(jī)械拋光裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓滑片風(fēng)險(xiǎn)的評估方法，其特征在于，包括：S100、采集氣膜和保持環(huán)的摩擦力矩，分別記為torqueA和torqueB；S200、對保持環(huán)的平均摩擦力fRR賦值，使總合摩擦力矩等于torqueB，根據(jù)fRR計(jì)算保持環(huán)所受的側(cè)向力FRR和摩擦系數(shù)μs；S300、對氣膜的平均摩擦力fw賦值，使總合摩擦力矩等于torqueA，根據(jù)fw計(jì)算晶圓所受的側(cè)向摩擦力Fw和摩擦系數(shù)μk；S400、定義邊界條件a和b，令a＝μs-μk，b＝FRR-FW，若a＜-0.5和或b＜-1500，則晶圓存在滑片風(fēng)險(xiǎn)。

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