恭喜華海清科股份有限公司楊朝霞獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜華海清科股份有限公司申請的專利一種晶圓滑片風險的評估方法及化學機械拋光裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115964863B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211570496.7，技術領域涉及：G06F30/20；該發明授權一種晶圓滑片風險的評估方法及化學機械拋光裝置是由楊朝霞;溫世乾;倪孟騏;趙德文;路新春設計研發完成，并于2022-12-08向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶圓滑片風險的評估方法及化學機械拋光裝置在說明書摘要公布了：本發明提供了一種晶圓滑片風險的評估方法及化學機械拋光裝置，包括：S100、采集氣膜和保持環的摩擦力矩，分別記為torqueA和torqueB；對保持環的平均摩擦力fRR賦值，使總合摩擦力矩等于torqueB，根據fRR計算保持環所受的側向力FRR和摩擦系數μs；對氣膜的平均摩擦力fw賦值，使總合摩擦力矩等于torqueA，根據fw計算晶圓所受的側向摩擦力FW和摩擦系數μk；定義邊界條件a和b，令a＝μs?μk，b＝FRR?FW，若a?0.5和或b?1500，則晶圓存在滑片風險。本發明提供的滑片評估方法根據側向摩擦力和摩擦系數的大小可判斷當前工況和其他工況的差異，可復現現場工況。
本發明授權一種晶圓滑片風險的評估方法及化學機械拋光裝置在權利要求書中公布了：1.一種晶圓滑片風險的評估方法，其特征在于，包括：S100、采集氣膜和保持環的摩擦力矩，分別記為torqueA和torqueB；S200、對保持環的平均摩擦力fRR賦值，使總合摩擦力矩等于torqueB，根據fRR計算保持環所受的側向力FRR和摩擦系數μs；S300、對氣膜的平均摩擦力fw賦值，使總合摩擦力矩等于torqueA，根據fw計算晶圓所受的側向摩擦力Fw和摩擦系數μk；S400、定義邊界條件a和b，令a＝μs-μk，b＝FRR-FW，若a＜-0.5和或b＜-1500，則晶圓存在滑片風險。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人華海清科股份有限公司，其通訊地址為：300350 天津市津南區咸水沽鎮聚興道11號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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