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龍圖騰網(wǎng)獲悉深圳市卓興半導(dǎo)體科技有限公司申請(qǐng)的專(zhuān)利半導(dǎo)體加工設(shè)備獲國(guó)家實(shí)用新型專(zhuān)利權(quán)，本實(shí)用新型專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN222762929U 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-15發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉：該實(shí)用新型的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202420190497.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該實(shí)用新型半導(dǎo)體加工設(shè)備是由陳平;謝慧;吳勇設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-01-26向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本半導(dǎo)體加工設(shè)備在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本實(shí)用新型公開(kāi)一種半導(dǎo)體加工設(shè)備，該半導(dǎo)體加工設(shè)備包括機(jī)架、取料裝置、料盒、及控制系統(tǒng)，料盒具有多個(gè)收容腔；料盒固設(shè)于機(jī)架，料盒具有多個(gè)沿上下方向間隔設(shè)置的收容腔，收容腔用以收容晶圓環(huán)；取料裝置設(shè)于機(jī)架，取料裝置包括用以拾取晶圓環(huán)的取料件和驅(qū)動(dòng)取料件的驅(qū)動(dòng)模塊，驅(qū)動(dòng)模塊驅(qū)使取料件沿上下方向移動(dòng)；控制系統(tǒng)用以控制驅(qū)動(dòng)模塊以使取料件將晶圓環(huán)放置于收容腔。本實(shí)用新型的技術(shù)方案旨在通過(guò)設(shè)置驅(qū)動(dòng)模塊對(duì)取料件進(jìn)行上下升降的調(diào)整，以便于取料件拾取晶圓環(huán)，減少了料盒上下升降的結(jié)構(gòu)，減小了料盒的占用空間。

本實(shí)用新型半導(dǎo)體加工設(shè)備在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種半導(dǎo)體加工設(shè)備，其特征在于，包括：機(jī)架；料盒，固定于所述機(jī)架，所述料盒設(shè)有沿所述料盒具有多個(gè)沿上下方向間隔設(shè)置的收容腔，所述收容腔用以收容晶圓環(huán)；取料裝置，設(shè)于所述機(jī)架，所述取料裝置包括驅(qū)動(dòng)模塊和與所述驅(qū)動(dòng)模塊驅(qū)動(dòng)連接的取料件；所述驅(qū)動(dòng)模塊包括第一驅(qū)動(dòng)件，所述第一驅(qū)動(dòng)件包括第一滑軌和驅(qū)動(dòng)連接所述取料件的第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述取料件滑動(dòng)設(shè)于所述第一滑軌，所述第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)使所述取料件沿上下方向滑動(dòng)于所述第一滑軌；以及控制系統(tǒng)，用以控制所述驅(qū)動(dòng)模塊以使所述取料件將所述晶圓環(huán)放置于所述收容腔。

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