恭喜深圳市卓興半導體科技有限公司陳平獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜深圳市卓興半導體科技有限公司申請的專利半導體加工設備獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN222762929U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-15發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202420190497.7，技術領域涉及：H01L21/67；該實用新型半導體加工設備是由陳平;謝慧;吳勇設計研發完成，并于2024-01-26向國家知識產權局提交的專利申請。
本半導體加工設備在說明書摘要公布了：本實用新型公開一種半導體加工設備，該半導體加工設備包括機架、取料裝置、料盒、及控制系統，料盒具有多個收容腔；料盒固設于機架，料盒具有多個沿上下方向間隔設置的收容腔，收容腔用以收容晶圓環；取料裝置設于機架，取料裝置包括用以拾取晶圓環的取料件和驅動取料件的驅動模塊，驅動模塊驅使取料件沿上下方向移動；控制系統用以控制驅動模塊以使取料件將晶圓環放置于收容腔。本實用新型的技術方案旨在通過設置驅動模塊對取料件進行上下升降的調整，以便于取料件拾取晶圓環，減少了料盒上下升降的結構，減小了料盒的占用空間。
本實用新型半導體加工設備在權利要求書中公布了：1.一種半導體加工設備，其特征在于，包括：機架；料盒，固定于所述機架，所述料盒設有沿所述料盒具有多個沿上下方向間隔設置的收容腔，所述收容腔用以收容晶圓環；取料裝置，設于所述機架，所述取料裝置包括驅動模塊和與所述驅動模塊驅動連接的取料件；所述驅動模塊包括第一驅動件，所述第一驅動件包括第一滑軌和驅動連接所述取料件的第一驅動電機，所述取料件滑動設于所述第一滑軌，所述第一驅動電機驅使所述取料件沿上下方向滑動于所述第一滑軌；以及控制系統，用以控制所述驅動模塊以使所述取料件將所述晶圓環放置于所述收容腔。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人深圳市卓興半導體科技有限公司，其通訊地址為：518000 廣東省深圳市寶安區石巖街道應人石社區文川路友晟紙業旁廠房一層；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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