恭喜上海芯戍精密裝備有限公司孟杪獲國(guó)家專(zhuān)利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜上海芯戍精密裝備有限公司申請(qǐng)的專(zhuān)利防止濺射污染的離子束裝置獲國(guó)家實(shí)用新型專(zhuān)利權(quán),本實(shí)用新型專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN222762922U 。
龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-15發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉:該實(shí)用新型的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為:202420351064.5,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H01J37/08;該實(shí)用新型防止濺射污染的離子束裝置是由孟杪;米絲辰設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2024-02-26向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。
本防止濺射污染的離子束裝置在說(shuō)明書(shū)摘要公布了:本實(shí)用新型公開(kāi)了一種防止濺射污染的離子束裝置,包括離子源、靜電透鏡組件和約束磁場(chǎng)組件;離子源與靜電透鏡組件同軸設(shè)置,離子源的離子束出口面向靜電透鏡組件的離子束進(jìn)口設(shè)置;約束磁場(chǎng)組件內(nèi)形成有高強(qiáng)磁場(chǎng),約束磁場(chǎng)組件的一側(cè)形成離子匯聚入口,約束磁場(chǎng)組件的另一側(cè)形成離子擴(kuò)束出口,離子匯聚入口、離子束聚焦點(diǎn)和離子擴(kuò)束出口之間形成離子偏轉(zhuǎn)路徑;靜電透鏡組件的離子束出口面向約束磁場(chǎng)組件的離子匯聚入口設(shè)置,約束磁場(chǎng)組件的離子擴(kuò)束出口面向所需處理的材料設(shè)置。本實(shí)用新型涉及離子源設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,能夠解決現(xiàn)有技術(shù)中離子源容易被部分濺射返回的顆粒污染的問(wèn)題。
本實(shí)用新型防止濺射污染的離子束裝置在權(quán)利要求書(shū)中公布了:1.一種防止濺射污染的離子束裝置,其特征是:包括離子源1、靜電透鏡組件和約束磁場(chǎng)組件;離子源1與靜電透鏡組件同軸設(shè)置,離子源1的離子束出口面向靜電透鏡組件的離子束進(jìn)口設(shè)置;約束磁場(chǎng)組件內(nèi)形成有高強(qiáng)磁場(chǎng),約束磁場(chǎng)組件的一側(cè)形成離子匯聚入口,約束磁場(chǎng)組件的另一側(cè)形成離子擴(kuò)束出口,離子匯聚入口、離子束聚焦點(diǎn)和離子擴(kuò)束出口之間形成離子偏轉(zhuǎn)路徑;靜電透鏡組件的離子束出口面向約束磁場(chǎng)組件的離子匯聚入口設(shè)置,約束磁場(chǎng)組件的離子擴(kuò)束出口面向所需處理的材料設(shè)置。
如需購(gòu)買(mǎi)、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類(lèi)似專(zhuān)利技術(shù),可聯(lián)系本專(zhuān)利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人上海芯戍精密裝備有限公司,其通訊地址為:201899 上海市嘉定區(qū)環(huán)城路2222號(hào)1幢J;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話(huà)0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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