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龍圖騰網(wǎng)恭喜安徽格楠機(jī)械有限公司申請(qǐng)的專利一種硅片邊緣拋光研磨裝置獲國家實(shí)用新型專利權(quán)，本實(shí)用新型專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN222755080U 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-15發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉：該實(shí)用新型的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202420602601.9，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B24B9/06；該實(shí)用新型一種硅片邊緣拋光研磨裝置是由曾慶明;趙亮;曾慶華;萬明;鎮(zhèn)咸生設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-03-27向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種硅片邊緣拋光研磨裝置在說明書摘要公布了：本實(shí)用新型屬于硅片邊緣拋光研磨技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種硅片邊緣拋光研磨裝置，包括底架、調(diào)整結(jié)構(gòu)、拋光結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的底架設(shè)置在支架上，在底架上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)、立柱，并在立柱上設(shè)置有頂板，所述的調(diào)整結(jié)構(gòu)設(shè)置頂板上，所述的拋光結(jié)構(gòu)與調(diào)整結(jié)構(gòu)活動(dòng)連接。本實(shí)用新型通過電機(jī)二帶動(dòng)傳動(dòng)螺柱旋轉(zhuǎn)，傳動(dòng)螺柱推動(dòng)連接螺環(huán)上升或下降，帶動(dòng)調(diào)節(jié)板上升或下降，進(jìn)而帶動(dòng)移動(dòng)板、電機(jī)三、研磨盤上升或下降，電機(jī)三帶動(dòng)研磨盤旋轉(zhuǎn)，使旋轉(zhuǎn)過程中的研磨盤與硅片邊緣接觸，對(duì)硅片邊緣進(jìn)行研磨拋光處理，提高硅片的研磨拋光質(zhì)量。

本實(shí)用新型一種硅片邊緣拋光研磨裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種硅片邊緣拋光研磨裝置，包括底架、調(diào)整結(jié)構(gòu)、拋光結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的底架設(shè)置在支架上，在底架上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)、立柱，并在立柱上設(shè)置有頂板，所述的調(diào)整結(jié)構(gòu)設(shè)置頂板上，所述的拋光結(jié)構(gòu)與調(diào)整結(jié)構(gòu)活動(dòng)連接，所述的拋光結(jié)構(gòu)包括電機(jī)二、調(diào)節(jié)板、移動(dòng)板、電機(jī)三、研磨盤，所述的電機(jī)二設(shè)置在頂板上，在電機(jī)二上設(shè)置傳動(dòng)螺柱，并將電機(jī)二設(shè)置為伺服電機(jī)，所述的調(diào)節(jié)板兩端設(shè)置有連接螺環(huán)，將傳動(dòng)螺柱豎向穿過連接螺環(huán)，并在調(diào)節(jié)板上設(shè)置有固定槽，所述的移動(dòng)板活動(dòng)設(shè)置在固定槽內(nèi)，并將移動(dòng)板與調(diào)整結(jié)構(gòu)活動(dòng)連接，所述的電機(jī)三設(shè)置在移動(dòng)板上，在電機(jī)三上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)軸，所述的研磨盤安裝在驅(qū)動(dòng)軸上，所述的調(diào)整結(jié)構(gòu)包括液壓缸、推板、推桿，所述的液壓缸設(shè)置在頂板上，在液壓缸上設(shè)置有活塞桿，所述的推板與活塞桿連接，在推板相對(duì)兩側(cè)設(shè)置有連接槽二，所述的推桿兩端均設(shè)置有連接桿，將推桿一端伸入連接槽二內(nèi)，連接桿與推板連接，另一端的連接桿與移動(dòng)板連接，并在移動(dòng)板上設(shè)置有連接槽一。

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