恭喜常州銀河電器有限公司高寶華獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網恭喜常州銀河電器有限公司申請的專利一種晶片光刻裝置獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN222762380U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-15發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202420631592.6，技術領域涉及：G03F7/20；該實用新型一種晶片光刻裝置是由高寶華;虞忠華設計研發完成，并于2024-03-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶片光刻裝置在說明書摘要公布了：本實用新型涉及半導體加工技術領域，尤其是涉及一種晶片光刻裝置，具有光刻臺，所述光刻臺的上方設有光刻激光頭，所述光刻臺設置在移動機構上，且下方設有顯微鏡頭，所述光刻臺為透明材質。本實用新型設置透明的光刻臺，光刻激光頭設置在光刻臺上部，顯微鏡頭設置在光刻臺下部并能透過透明光刻臺觀測上的晶圓片，這樣就能實現光刻同時進行觀測，免去了刻畫對位線的工序，而且時時對位，不會產生誤差，不用定期人工調試，使用更加方便。
本實用新型一種晶片光刻裝置在權利要求書中公布了：1.一種晶片光刻裝置，其特征在于：具有光刻臺，所述光刻臺的上方設有光刻激光頭，所述光刻臺設置在移動機構上，且下方設有顯微鏡頭，所述光刻臺為透明材質，所述光刻臺的中部設有抽氣主孔，所述抽氣主孔上設有若干抽氣支孔，所述抽氣支孔與所述光刻臺的上表面相通。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人常州銀河電器有限公司，其通訊地址為：213000 江蘇省常州市新北區河海西路168號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號