買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)恭喜芯恩(青島)集成電路有限公司申請的專利一種關(guān)鍵尺寸監(jiān)控標(biāo)記結(jié)構(gòu)獲國家實用新型專利權(quán)，本實用新型專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN222762930U 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-15發(fā)布的實用新型授權(quán)公告中獲悉：該實用新型的專利申請?zhí)?專利號為：202420666055.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該實用新型一種關(guān)鍵尺寸監(jiān)控標(biāo)記結(jié)構(gòu)是由朱丙釗;張磊;劉慧設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-04-02向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種關(guān)鍵尺寸監(jiān)控標(biāo)記結(jié)構(gòu)在說明書摘要公布了：本實用新型提供一種關(guān)鍵尺寸監(jiān)控標(biāo)記結(jié)構(gòu)，包括多條沿第一方向延伸且沿第二方向排列的關(guān)鍵尺寸監(jiān)控標(biāo)記，所述關(guān)鍵尺寸監(jiān)控標(biāo)記結(jié)構(gòu)在第一方向上包括密集區(qū)與稀疏區(qū)，所述密集區(qū)或和所述稀疏區(qū)內(nèi)的所述關(guān)鍵尺寸監(jiān)控標(biāo)記的CD具有梯度變化。本實用新型通過設(shè)計CD梯度以監(jiān)控可能存在的CD隨能量不再變化的情況，并且可以同時監(jiān)控CD梯度是否具有相同的變化規(guī)律，從而確定最佳的光刻條件，達(dá)到有效監(jiān)控晶圓面內(nèi)CD的真實變化情況的目的。

本實用新型一種關(guān)鍵尺寸監(jiān)控標(biāo)記結(jié)構(gòu)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種關(guān)鍵尺寸監(jiān)控標(biāo)記結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括多條沿第一方向延伸且沿第二方向排列的關(guān)鍵尺寸監(jiān)控標(biāo)記，所述關(guān)鍵尺寸監(jiān)控標(biāo)記結(jié)構(gòu)在第一方向上包括密集區(qū)與稀疏區(qū)，所述密集區(qū)或和所述稀疏區(qū)內(nèi)的所述關(guān)鍵尺寸監(jiān)控標(biāo)記的CD具有梯度變化。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人芯恩(青島)集成電路有限公司，其通訊地址為：266000 山東省青島市黃島區(qū)太白山路19號德國企業(yè)南區(qū)401；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。