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龍圖騰網(wǎng)恭喜長沙理工大學申請的專利一種碳化硅晶錠預加工工藝方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN118478116B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202410612142.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B23K26/70；該發(fā)明授權(quán)一種碳化硅晶錠預加工工藝方法是由嚴一雄;程宇軒;陳思佳;李雪凝;鄭煜;張明軍;程波;毛聰;陳小敏設計研發(fā)完成，并于2024-05-16向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種碳化硅晶錠預加工工藝方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種碳化硅晶錠預加工工藝方法，屬于晶錠預加工技術(shù)領(lǐng)域，包括以下步驟：S1、將晶錠放置在備料盤內(nèi)，使用三維形貌掃描儀對晶錠表面進行掃描，得到晶錠表面形貌誤差點云數(shù)據(jù)；S2、基于得到的點云數(shù)據(jù)，通過Delaunay三角剖分算法重構(gòu)晶錠表面誤差模型；S3、基于晶錠表面誤差模型和光學基本原理，進行計算程序設定，計算出晶錠不同點位處物鏡架在垂直方向上相對標定位置應該調(diào)整的距離；S4、基于S3中得到的結(jié)果，進行激光加工處理。本發(fā)明通過晶錠形貌誤差檢測和重建算法實現(xiàn)激光焦點自適應調(diào)控，對晶錠表面實施預加工，從而減少晶錠三維形貌對后續(xù)剝離質(zhì)量的影響。

本發(fā)明授權(quán)一種碳化硅晶錠預加工工藝方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種碳化硅晶錠預加工工藝方法，其特征在于，包括以下步驟：S1、將晶錠放置在備料盤內(nèi)，使用三維形貌掃描儀對晶錠表面進行掃描，得到晶錠表面形貌誤差點云數(shù)據(jù)；S2、基于得到的點云數(shù)據(jù)，通過Delaunay三角剖分算法重構(gòu)晶錠表面誤差模型，具體為：先將點云數(shù)據(jù)通過法線投影至XY二維平面內(nèi)，然后將投影得到的點云做平面內(nèi)的三角化，得到平面投影內(nèi)各點的拓撲連接關(guān)系，確定各原始三維點間的拓撲連接，得到重構(gòu)后的晶錠表面誤差模型；S3、基于晶錠表面誤差模型和光學基本原理，進行計算程序設定，計算出晶錠不同點位處物鏡架在垂直方向上相對標定位置應該調(diào)整的距離；包括以下步驟：1）根據(jù)激光垂直入射在晶錠表面最高點位，確定物鏡鏡架上標定線的基準位置，計算基準位置與晶錠改質(zhì)平面之間的基準工作距離； ；其中，為物鏡底面與晶錠表面距離，為晶錠改質(zhì)平面深度，為標定線與透鏡底面之間厚度； h的計算公式為： ； ； r為透鏡底面光束的半徑，γ為激光在晶錠表面的入射角，β為激光在晶錠表面的折射角，為透鏡焦距；激光垂直入射在晶錠表面時，碳化硅晶錠的折射率n為： ；根據(jù)計算得出 ；2）以晶錠表面最高點位作為參考平面，結(jié)合獲得的晶錠表面誤差模型，計算激光入射在晶錠表面任一點位時，該點位上的工作距離； ；晶錠表面傾斜角度為α時，激光光軸在晶錠表面的入射角也為α，碳化硅晶錠的折射率n為： ；其中，為此時激光光軸在晶錠表面的折射角； ；或 ；其中，、分別為左右兩側(cè)的折射角；3）通過計算得出晶錠不同點位處物鏡鏡架在垂直方向相對標定位置應調(diào)整的距離； 表示為： ；S4、基于S3中得到的結(jié)果，控制器向各元件發(fā)出控制信號，四軸SCARA機械手吸取掃描后的晶錠，通過程序控制機械手各關(guān)節(jié)的旋轉(zhuǎn)角度，保持三維形貌掃描時的坐標系不變，將晶錠平移至加工平臺上并通過真空吸附使晶錠固定；脈沖皮秒激光器開啟；其中，脈沖皮秒激光器的光路上設置光路系統(tǒng)，光路系統(tǒng)包括沿光路依次布設的全反射鏡組合、二向色分光鏡和聚焦透鏡，全反射鏡組合上的最后一個反射鏡與二向色分光鏡平行設置；從皮秒激光器中輸出的激光經(jīng)過沿光路布設的全反射鏡組合的反射作用傳遞到二向色分光鏡表面，二向色分光鏡采用短波通光片，短波段的光通過，并反射長波段的光，皮秒激光被反射，通過聚焦透鏡最終垂直聚焦在晶錠的加工面上；皮秒激光通過多個反射鏡、二向色分光鏡的反射以及聚焦透鏡的作用垂直向下聚焦在晶錠內(nèi)部預設水平面，控制加工平臺在X和Y方向上以及運動面板在Z方向上的移動速度和距離，使得在預加工過程中兩者之間進行配合，確保激光能夠聚焦到晶錠內(nèi)部同一水平面進行直寫加工；加工結(jié)束后，脈沖皮秒激光器關(guān)閉，四軸SCARA機械手將碳化硅晶錠轉(zhuǎn)移，進行后續(xù)剝離的工藝。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人長沙理工大學，其通訊地址為：410114 湖南省長沙市天心區(qū)赤嶺路45號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。