恭喜唐山三孚電子材料有限公司周曉咪獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜唐山三孚電子材料有限公司申請的專利電子級硅基物料金屬雜質在線分析系統及方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119310297B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-04發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202411847171.8,技術領域涉及:G01N35/00;該發明授權電子級硅基物料金屬雜質在線分析系統及方法是由周曉咪;李寧寧設計研發完成,并于2024-12-16向國家知識產權局提交的專利申請。
本電子級硅基物料金屬雜質在線分析系統及方法在說明書摘要公布了:本公開提供一種電子級硅基物料金屬雜質在線分析系統及方法,屬于雜質分析領域。該電子級硅基物料金屬雜質在線分析系統包括:取樣模塊,用于對目標硅基物料采集,得到硅基樣品;樣品處理模塊,用于處理硅基樣品,得到第一硅基樣品;樣品分析模塊,用于分析第一硅基樣品,得到分析結果;反饋控制模塊,用于將分析結果發送至終端模塊;樣品處理模塊分別與取樣模塊和樣品分析模塊連接;樣品分析模塊與反饋控制模塊連接。本公開能夠提升硅基物料金屬雜質在線分析的檢測速度和可靠性。
本發明授權電子級硅基物料金屬雜質在線分析系統及方法在權利要求書中公布了:1.一種電子級硅基物料金屬雜質在線分析系統,其特征在于,包括:取樣模塊,用于對目標硅基物料采集,得到硅基樣品;樣品處理模塊,用于處理所述硅基樣品,得到第一硅基樣品;樣品分析模塊,用于分析所述第一硅基樣品,得到分析結果;反饋控制模塊,用于將所述分析結果發送至終端模塊;所述樣品處理模塊分別與所述取樣模塊和所述樣品分析模塊連接;所述樣品分析模塊與所述反饋控制模塊連接;所述樣品分析模塊,具體用于對所述第一硅基樣品進行分析,得到第一分析結果;第一分析結果是通過對第一硅基樣品進行檢測得到的質譜結果;所述樣品分析模塊,具體還用于分別將所述第一分析結果與多個標準結果進行特征匹配,得到特征匹配結果;基于所述特征匹配結果對第一算法中的第一參數進行調整;所述樣品分析模塊,具體還用于存儲所述多個標準結果和其對應的第一標準參數;所述樣品分析模塊,具體還用于基于所述特征匹配結果和所述特征匹配結果對應的第一標準參數對所述第一算法中的第一參數進行調整;所述第一算法為使用徑向基函數核函數作為函數的SVM算法,第一參數是;將第一分析結果和多個標準結果看作是向量空間中的向量;對于第一分析結果向量和第一標準結果向量,按照余弦相似度計算公式計算,若得到的余弦值大于第一余弦閾值,將第一標準結果對應的值賦予第一分析結果的值;所述樣品分析模塊,具體還用于基于歐氏距離相似度計算第一分析結果與多個標準結果之間的相似度篩選出相似度大于第一相似度閾值的標準結果;響應于第一分析結果與多個子標準結果的相似度均大于第一相似度閾值,將多個子標準結果對應的第一標準參數進行加權計算對第一算法中的第一參數進行調整。
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