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龍圖騰網(wǎng)獲悉上海圖雙精密裝備有限公司申請(qǐng)的專利厚度測(cè)量裝置、方法以及其光刻設(shè)備獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119289877B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-04發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202411845318.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01B11/06；該發(fā)明授權(quán)厚度測(cè)量裝置、方法以及其光刻設(shè)備是由姜小光設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-12-16向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本厚度測(cè)量裝置、方法以及其光刻設(shè)備在說明書摘要公布了：本公開涉及厚度測(cè)量裝置、方法以及其光刻設(shè)備。根據(jù)本公開的厚度測(cè)量裝置可包括：用于支撐厚度測(cè)量裝置的本體；用于發(fā)射測(cè)量光的光發(fā)射模塊；用于接收測(cè)量光的光接收模塊；以及導(dǎo)柱，導(dǎo)柱的第一端被放置成與待加工件表面接觸，其中光發(fā)射模塊和光接收模塊相對(duì)布置，以使得由光發(fā)射模塊發(fā)出的光在光接收模塊的預(yù)定接收位置處被光接收模塊接收，并且預(yù)定接收位置取決于初始接收位置和待加工件厚度。根據(jù)本公開的厚度測(cè)量裝置基于光接收模塊接收到光的預(yù)定接收位置與初始接收位置之間的距離來確定待加工件厚度。根據(jù)本公開的厚度測(cè)量裝置將待加工件的厚度轉(zhuǎn)換成導(dǎo)柱的物理行程，從而能夠適用于測(cè)量各種類型的待加工件的厚度。

本發(fā)明授權(quán)厚度測(cè)量裝置、方法以及其光刻設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種厚度測(cè)量裝置，包括：用于支撐所述厚度測(cè)量裝置的本體；用于發(fā)射測(cè)量光的光發(fā)射模塊；用于接收測(cè)量光的光接收模塊；導(dǎo)柱，所述導(dǎo)柱的第一端被放置成與待加工件表面接觸，其中所述光發(fā)射模塊和所述光接收模塊相對(duì)布置，以使得由所述光發(fā)射模塊發(fā)出的光在所述光接收模塊的預(yù)定接收位置B處被所述光接收模塊接收，并且所述預(yù)定接收位置B取決于初始接收位置A和所述待加工件厚度MN；沿轉(zhuǎn)軸O轉(zhuǎn)動(dòng)的杠桿，其中所述杠桿的第一端與所述光接收模塊固定并且所述杠桿的第二端與所述導(dǎo)柱固定；以及伸縮模塊，所述伸縮模塊的第一端與所述杠桿的所述第一端固定，其中所述伸縮模塊為彈簧；位于所述杠桿下方、所述轉(zhuǎn)軸與所述杠桿的所述第一端之間的電磁鐵，其中所述電磁鐵被通電以吸附所述杠桿的所述第一端向下運(yùn)動(dòng)，并且其中所述電磁鐵被斷電時(shí)所述伸縮模塊推動(dòng)所述杠桿的所述第一端向上運(yùn)動(dòng)，從而使所述杠桿的第二端頂緊所述待加工件的上表面，其中晶圓厚度MN=（POOC）×AB，其中AB為所述光接收模塊分別接收到光的初始接收位置A與的預(yù)定接收位置B之間的距離，PO為所述導(dǎo)柱到所述轉(zhuǎn)軸O的垂直距離，而OC為所述光接收模塊到所述轉(zhuǎn)軸O的垂直距離。

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