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龍圖騰網恭喜上海圖雙精密裝備有限公司申請的專利厚度測量裝置、方法以及其光刻設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119289877B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-04發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411845318.X，技術領域涉及：G01B11/06；該發明授權厚度測量裝置、方法以及其光刻設備是由姜小光設計研發完成，并于2024-12-16向國家知識產權局提交的專利申請。

本厚度測量裝置、方法以及其光刻設備在說明書摘要公布了：本公開涉及厚度測量裝置、方法以及其光刻設備。根據本公開的厚度測量裝置可包括：用于支撐厚度測量裝置的本體；用于發射測量光的光發射模塊；用于接收測量光的光接收模塊；以及導柱，導柱的第一端被放置成與待加工件表面接觸，其中光發射模塊和光接收模塊相對布置，以使得由光發射模塊發出的光在光接收模塊的預定接收位置處被光接收模塊接收，并且預定接收位置取決于初始接收位置和待加工件厚度。根據本公開的厚度測量裝置基于光接收模塊接收到光的預定接收位置與初始接收位置之間的距離來確定待加工件厚度。根據本公開的厚度測量裝置將待加工件的厚度轉換成導柱的物理行程，從而能夠適用于測量各種類型的待加工件的厚度。

本發明授權厚度測量裝置、方法以及其光刻設備在權利要求書中公布了：1.一種厚度測量裝置，包括：用于支撐所述厚度測量裝置的本體；用于發射測量光的光發射模塊；用于接收測量光的光接收模塊；導柱，所述導柱的第一端被放置成與待加工件表面接觸，其中所述光發射模塊和所述光接收模塊相對布置，以使得由所述光發射模塊發出的光在所述光接收模塊的預定接收位置B處被所述光接收模塊接收，并且所述預定接收位置B取決于初始接收位置A和所述待加工件厚度MN；沿轉軸O轉動的杠桿，其中所述杠桿的第一端與所述光接收模塊固定并且所述杠桿的第二端與所述導柱固定；以及伸縮模塊，所述伸縮模塊的第一端與所述杠桿的所述第一端固定，其中所述伸縮模塊為彈簧；位于所述杠桿下方、所述轉軸與所述杠桿的所述第一端之間的電磁鐵，其中所述電磁鐵被通電以吸附所述杠桿的所述第一端向下運動，并且其中所述電磁鐵被斷電時所述伸縮模塊推動所述杠桿的所述第一端向上運動，從而使所述杠桿的第二端頂緊所述待加工件的上表面，其中晶圓厚度MN=（POOC）×AB，其中AB為所述光接收模塊分別接收到光的初始接收位置A與的預定接收位置B之間的距離，PO為所述導柱到所述轉軸O的垂直距離，而OC為所述光接收模塊到所述轉軸O的垂直距離。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海圖雙精密裝備有限公司，其通訊地址為：201206 上海市浦東新區金海路955弄1號樓；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。