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龍圖騰網恭喜深圳優普萊等離子體技術有限公司;廣東優普萊金剛石技術有限公司申請的專利一種不中斷金剛石生長的石墨刻蝕方法、系統及終端獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119392209B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-04發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411978371.7，技術領域涉及：C23C16/44；該發明授權一種不中斷金剛石生長的石墨刻蝕方法、系統及終端是由陳月;全峰設計研發完成，并于2024-12-31向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種不中斷金剛石生長的石墨刻蝕方法、系統及終端在說明書摘要公布了：本發明公開了一種不中斷金剛石生長的石墨刻蝕方法、系統及終端，所述方法包括：確定待生長單晶金剛石以及第一生長環境，并根據第一生長環境對待生長單晶金剛石進行第一階段生長處理；當待生長單晶金剛石的第一階段生長處理完成時，對第一生長環境進行工藝氣體比例調整處理以及降溫處理，得到第二生長環境；根據第二生長環境對待生長單晶金剛石進行第二階段生長處理，得到目標單晶金剛石，并根據第二生長環境對MPCVD設備中石英上的石墨進行刻蝕處理，得到石墨刻蝕結果。本發明通過構建第二生長環境，能夠在不中斷金剛石生長的條件下，對石英上的石墨進行去除，不僅保證了設備的正常運行，還有效延長了金剛石的單次生長時間。

本發明授權一種不中斷金剛石生長的石墨刻蝕方法、系統及終端在權利要求書中公布了：1.一種不中斷金剛石生長的石墨刻蝕方法，其特征在于，所述不中斷金剛石生長的石墨刻蝕方法包括：確定待生長單晶金剛石以及第一生長環境，并根據所述第一生長環境對所述待生長單晶金剛石進行第一階段生長處理；其中，所述第一生長環境包括第一預設濃度比例的第一預設工藝氣體、第二預設濃度比例的第二預設工藝氣體、第三預設濃度比例的第三預設工藝氣體、第四預設濃度比例的第四預設工藝氣體、第五預設濃度比例的第五預設工藝氣體、預設氣壓范圍、預設功率范圍以及第一預設溫度范圍；其中，所述第一預設工藝氣體為氫氣，所述第二預設工藝氣體為氮氣，所述第三預設工藝氣體為氧氣，所述第四預設工藝氣體為甲烷，所述第五預設工藝氣體為氬氣；當所述待生長單晶金剛石在所述第一生長環境中的生長時間達到第一預設生長時間范圍時，表示所述待生長單晶金剛石的第一階段生長處理完成；在第一預設時間范圍內，將所述第一生長環境中所述第二預設工藝氣體的所述第二預設濃度比例下降至第六預設濃度比例，得到所述第六預設濃度比例的所述第二預設工藝氣體；在第二預設時間范圍內，將所述第一生長環境中所述第四預設工藝氣體的所述第四預設濃度比例下降至第七預設濃度比例，得到所述第七預設濃度比例的所述第四預設工藝氣體；將所述第一生長環境中的所述第一預設溫度范圍下降至第二預設溫度范圍，得到第二生長環境；其中，所述第二生長環境包括所述第一預設濃度比例的所述第一預設工藝氣體、所述第六預設濃度比例的所述第二預設工藝氣體、所述第三預設濃度比例的所述第三預設工藝氣體、所述第七預設濃度比例的所述第四預設工藝氣體、所述第五預設濃度比例的所述第五預設工藝氣體、所述預設氣壓范圍、所述預設功率范圍以及所述第二預設溫度范圍；根據所述第二生長環境對所述待生長單晶金剛石進行第二階段生長處理，得到目標單晶金剛石，并根據所述第二生長環境對MPCVD設備中石英上的石墨進行刻蝕處理，得到石墨刻蝕結果。

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