買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)恭喜新毅東(北京)科技有限公司申請的專利光刻機(jī)掩膜版對準(zhǔn)系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119395954B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-04發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510013797.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/20；該發(fā)明授權(quán)光刻機(jī)掩膜版對準(zhǔn)系統(tǒng)是由張琪;符友銀;張曼妮設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-01-06向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本光刻機(jī)掩膜版對準(zhǔn)系統(tǒng)在說明書摘要公布了：本申請涉及光刻機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，更為具體地說，提供了一種光刻機(jī)掩膜版對準(zhǔn)系統(tǒng)。該光刻機(jī)掩膜版對準(zhǔn)系統(tǒng)包括從物鏡到相機(jī)依次排列的前反射鏡組、固定鏡頭組、高倍低倍切換鏡頭組和后反射鏡組，其中，所述前反射鏡組和后反射鏡組每個包括一個或多個反射鏡，且所述高倍低倍切換鏡頭組包括可切換的具有低倍放大倍率的低倍鏡頭組和具有高倍放大倍率的高倍鏡頭組，且所述低倍放大倍率用于粗對準(zhǔn)系統(tǒng)而所述高倍放大倍率用于精對準(zhǔn)系統(tǒng)。這樣，通過使用高倍低倍切換鏡頭組在粗對準(zhǔn)和精對準(zhǔn)時基于共同的物面和像面以及共同的光源和相機(jī)進(jìn)行對準(zhǔn)，增加了對準(zhǔn)精度。

本發(fā)明授權(quán)光刻機(jī)掩膜版對準(zhǔn)系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種光刻機(jī)掩膜版對準(zhǔn)系統(tǒng)，包括從物鏡到相機(jī)依次排列的前反射鏡組、固定鏡頭組、高倍低倍切換鏡頭組和后反射鏡組；其中，所述前反射鏡組和后反射鏡組每個包括一個或多個反射鏡，且所述高倍低倍切換鏡頭組包括可切換的具有低倍放大倍率的低倍鏡頭組和具有高倍放大倍率的高倍鏡頭組，且所述低倍放大倍率用于粗對準(zhǔn)系統(tǒng)而所述高倍放大倍率用于精對準(zhǔn)系統(tǒng)；其特征在于，所述低倍鏡頭組和所述高倍鏡頭組的光軸設(shè)置在同一水平面上并相互平行；所述低倍鏡頭組和所述高倍鏡頭組通過固定外殼固定在一起，所述固定外殼的底部固定在滑動機(jī)構(gòu)上，所述滑動機(jī)構(gòu)的下方設(shè)置有導(dǎo)軌，驅(qū)動器通過其軸端的連接桿推動所述滑動機(jī)構(gòu)移動，以切換所述低倍鏡頭組和所述高倍鏡頭組與所述固定鏡頭組的光軸重疊；其中，掩膜版下表面為所述光刻機(jī)掩膜版對準(zhǔn)系統(tǒng)的成像物面，相機(jī)為成像像面，光源在基礎(chǔ)版下方。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人新毅東(北京)科技有限公司，其通訊地址為：100176 北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)榮昌東街甲5號3號樓1層101-8；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。