恭喜新毅東(北京)科技有限公司張琪獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜新毅東(北京)科技有限公司申請的專利光刻機掩膜版對準系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119395954B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-04發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510013797.7，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權光刻機掩膜版對準系統是由張琪;符友銀;張曼妮設計研發完成，并于2025-01-06向國家知識產權局提交的專利申請。
本光刻機掩膜版對準系統在說明書摘要公布了：本申請涉及光刻機技術領域，更為具體地說，提供了一種光刻機掩膜版對準系統。該光刻機掩膜版對準系統包括從物鏡到相機依次排列的前反射鏡組、固定鏡頭組、高倍低倍切換鏡頭組和后反射鏡組，其中，所述前反射鏡組和后反射鏡組每個包括一個或多個反射鏡，且所述高倍低倍切換鏡頭組包括可切換的具有低倍放大倍率的低倍鏡頭組和具有高倍放大倍率的高倍鏡頭組，且所述低倍放大倍率用于粗對準系統而所述高倍放大倍率用于精對準系統。這樣，通過使用高倍低倍切換鏡頭組在粗對準和精對準時基于共同的物面和像面以及共同的光源和相機進行對準，增加了對準精度。
本發明授權光刻機掩膜版對準系統在權利要求書中公布了：1.一種光刻機掩膜版對準系統，包括從物鏡到相機依次排列的前反射鏡組、固定鏡頭組、高倍低倍切換鏡頭組和后反射鏡組；其中，所述前反射鏡組和后反射鏡組每個包括一個或多個反射鏡，且所述高倍低倍切換鏡頭組包括可切換的具有低倍放大倍率的低倍鏡頭組和具有高倍放大倍率的高倍鏡頭組，且所述低倍放大倍率用于粗對準系統而所述高倍放大倍率用于精對準系統；其特征在于，所述低倍鏡頭組和所述高倍鏡頭組的光軸設置在同一水平面上并相互平行；所述低倍鏡頭組和所述高倍鏡頭組通過固定外殼固定在一起，所述固定外殼的底部固定在滑動機構上，所述滑動機構的下方設置有導軌，驅動器通過其軸端的連接桿推動所述滑動機構移動，以切換所述低倍鏡頭組和所述高倍鏡頭組與所述固定鏡頭組的光軸重疊；其中，掩膜版下表面為所述光刻機掩膜版對準系統的成像物面，相機為成像像面，光源在基礎版下方。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人新毅東(北京)科技有限公司，其通訊地址為：100176 北京市大興區北京經濟技術開發區榮昌東街甲5號3號樓1層101-8；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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