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龍圖騰網(wǎng)恭喜中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所申請(qǐng)的專利具有大電感層的超導(dǎo)電路及其制備方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114188472B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-01發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202111492420.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H10N60/01；該發(fā)明授權(quán)具有大電感層的超導(dǎo)電路及其制備方法是由應(yīng)利良;張雪;何桂香;任潔;彭煒設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-12-08向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本具有大電感層的超導(dǎo)電路及其制備方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種具有大電感層的超導(dǎo)電路及其制備方法，該超導(dǎo)電路包括：襯底；形成于襯底上的旁路電阻；形成于旁路電阻上的約瑟夫森結(jié)；形成于約瑟夫森結(jié)上的大電感層；形成于大電感層上的配線層；絕緣材料層，分別將旁路電阻、約瑟夫森結(jié)、大電感層及配線層電學(xué)隔離。該超導(dǎo)電路利用原配線層的中小電感設(shè)計(jì)中，再設(shè)計(jì)加入一層專門的大電感層應(yīng)用于需要大電感的超導(dǎo)電路中，有效擴(kuò)大了超導(dǎo)電路中的電感大小范圍，拓寬了超導(dǎo)電路的應(yīng)用場(chǎng)景，提高超導(dǎo)電路的集成度；另外，特定材料的大電感層同時(shí)還可以用作大電阻層，從而可進(jìn)一步提升超導(dǎo)電路的集成度。

本發(fā)明授權(quán)具有大電感層的超導(dǎo)電路及其制備方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種具有大電感層的超導(dǎo)電路的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括：1）提供襯底，并于所述襯底上形成旁路電阻；2）于上述得到的結(jié)構(gòu)表面形成具有第一開孔的圖形化的第一絕緣材料層，所述第一開孔顯露所述旁路電阻；3）于上述得到的結(jié)構(gòu)表面依次形成第一超導(dǎo)材料層、勢(shì)壘材料層、第二超導(dǎo)材料層的三層薄膜結(jié)構(gòu)；4）從上而下分別用不同的圖案刻蝕所述三層薄膜結(jié)構(gòu)以形成約瑟夫森結(jié)；5）于上述得到的結(jié)構(gòu)表面形成圖形化的第二絕緣材料層，并于所述第二絕緣材料層上形成大電感層；6）于上述得到的結(jié)構(gòu)表面形成具有多個(gè)第二開孔的圖形化的第三絕緣材料層，多個(gè)所述第二開孔分別顯露所述大電感層及所述約瑟夫森結(jié)的上表面；7）于上述得到的結(jié)構(gòu)表面形成第三超導(dǎo)材料層，并刻蝕所述第三超導(dǎo)材料層形成配線層。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所，其通訊地址為：200050 上海市長寧區(qū)長寧路865號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。