恭喜江南大學楊國鋒獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜江南大學申請的專利一種基于非對稱肖特基勢壘的自驅(qū)動日盲紫外探測器獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN117673188B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-01發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202311653005.X,技術(shù)領域涉及:H10F30/227;該發(fā)明授權(quán)一種基于非對稱肖特基勢壘的自驅(qū)動日盲紫外探測器是由楊國鋒;谷燕;王博翔;陳華志;葉炳杰;謝峰;錢維瑩;張向陽;張秀梅;劉玉申;陳國慶設計研發(fā)完成,并于2023-12-05向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本一種基于非對稱肖特基勢壘的自驅(qū)動日盲紫外探測器在說明書摘要公布了:本發(fā)明公開了一種基于非對稱肖特基勢壘的自驅(qū)動日盲紫外探測器,屬于半導體器件制造技術(shù)領域。紫外探測器從下而上依次包括:襯底層、AlN緩沖層、Al0.65Ga0.35N層、Al0.4Ga0.6N有源層、Al0.55Ga0.45N勢壘層和金屬電極層。本發(fā)明通過僅在一側(cè)的電極與Al0.4Ga0.6N有源層之間插入Al0.55Ga0.45N勢壘層,構(gòu)成不對稱的MSM結(jié)構(gòu),利用不同的勢壘高度誘導能帶彎曲,形成不對稱的能帶,顯著促進光生載流子的分離和輸運,從而解決了對稱MSM結(jié)構(gòu)探測器高功耗的問題,實現(xiàn)了自驅(qū)動特性。形成的不對稱的異質(zhì)結(jié)構(gòu),增強了Al0.4Ga0.6N層的極化場,進而增加光電流的產(chǎn)生,大幅度提高了0V下的響應度。此外,本發(fā)明的制造的外延結(jié)構(gòu)螺位錯密度較低,從而器件獲得超低的暗電流,提高了器件的靈敏度。
本發(fā)明授權(quán)一種基于非對稱肖特基勢壘的自驅(qū)動日盲紫外探測器在權(quán)利要求書中公布了:1.一種基于非對稱肖特基勢壘的自驅(qū)動日盲紫外探測器,其特征在于,所述自驅(qū)動日盲紫外探測器從下而上依次包括:襯底層、AlN緩沖層、異質(zhì)結(jié)構(gòu)層和金屬電極層;其中,所述異質(zhì)結(jié)構(gòu)層包括三層高鋁組分層:Al0.65Ga0.35N緩沖層、Al0.4Ga0.6N有源層和Al0.55Ga0.45N勢壘層;且所述自驅(qū)動日盲紫外探測器的一側(cè)電極由三層高鋁組分層中的Al0.55Ga0.45N勢壘層和金屬電極層構(gòu)成,其金屬電極層與三層高鋁組分層中的Al0.4Ga0.6N有源層形成肖特基接觸,另一側(cè)電極僅由金屬電極層構(gòu)成,且金屬電極層與三層高鋁組分層中的Al0.55Ga0.45N勢壘層形成肖特基接觸。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人江南大學,其通訊地址為:214122 江蘇省無錫市濱湖區(qū)蠡湖大道1800號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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