恭喜海目星激光科技集團股份有限公司涂渭清獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜海目星激光科技集團股份有限公司申請的專利拉膜擴晶設備獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN222705451U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202323472161.4,技術領域涉及:H01L21/67;該實用新型拉膜擴晶設備是由涂渭清;黃柏源;王元召;彭信翰;徐念;郭林豪設計研發完成,并于2023-12-18向國家知識產權局提交的專利申請。
本拉膜擴晶設備在說明書摘要公布了:本實用新型公開一種拉膜擴晶設備,拉膜擴晶設備包括工作臺、固定裝置、拉膜裝置、驅動裝置以及視覺檢測裝置;其中,工作臺具有安裝面,固定裝置、拉膜裝置以及驅動裝置均安裝于安裝面上,固定裝置用于固定膜材,拉膜裝置用于夾持拉伸膜材;視覺檢測裝置連接于驅動裝置,驅動裝置用于驅動視覺檢測裝置在安裝面的上方自由移動,視覺檢測裝置還與拉膜裝置電性連接,視覺檢測裝置用于實時檢測膜材上的芯片的間距,并向拉膜裝置發送間距信息,拉膜裝置根據間距信息控制對拉伸膜材的拉伸力度。通過上述設置,有效地解決在擴晶加工過程中無法實時且精準地檢測芯片的間距而導致擴晶加工精度低的問題。
本實用新型拉膜擴晶設備在權利要求書中公布了:1.一種拉膜擴晶設備,其特征在于,所述拉膜擴晶設備包括工作臺、固定裝置、拉膜裝置、驅動裝置以及視覺檢測裝置;其中,所述工作臺具有安裝面,所述固定裝置、所述拉膜裝置以及所述驅動裝置均安裝于所述安裝面上,所述固定裝置用于固定膜材,所述拉膜裝置用于夾持拉伸膜材;所述視覺檢測裝置連接于所述驅動裝置,所述驅動裝置用于驅動所述視覺檢測裝置在所述安裝面的上方自由移動,所述視覺檢測裝置還與所述拉膜裝置電性連接,所述視覺檢測裝置用于實時檢測膜材上的芯片的間距,并向所述拉膜裝置發送間距信息,所述拉膜裝置根據所述間距信息控制對拉伸膜材的拉伸力度。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人海目星激光科技集團股份有限公司,其通訊地址為:518110 廣東省深圳市龍華區觀湖街道鷺湖社區觀盛五路科姆龍科技園B棟301;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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