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恭喜廣東思沃先進裝備有限公司楊善斌獲國家專利權

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龍圖騰網恭喜廣東思沃先進裝備有限公司申請的專利輔助貼膜單元獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN222705452U 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202420442073.5,技術領域涉及:H01L21/67;該實用新型輔助貼膜單元是由楊善斌;范志平;劉攀;盧少君設計研發完成,并于2024-03-07向國家知識產權局提交的專利申請。

輔助貼膜單元在說明書摘要公布了:本申請提供了一種輔助貼膜單元,其包括:架體,其中形成有腔體,在架體的側部和頂部分別開設有均與腔體相連通的移載口和呈圓形的切割口;滑動設置于腔體內部、具備加熱及吸附功能以用于承載晶圓的支撐平臺,以及沿豎向設置于架體、以用于驅動支撐平臺升降的升降機構,支撐平臺的直徑小于切割口的直徑以能夠滑動至部分支撐平臺從切割口伸出;具備多級伸縮功能的輔助機構,設置于架體一側且其作業端能夠通過移載口進出腔體以移動至支撐平臺上方,作業端設置有與支撐平臺相適配的吸附盤及負壓清潔組件。本申請提供的輔助貼膜單元,能夠避免貼膜過程中出現的氣泡問題以及貼膜過程中由于晶圓邊緣翹起而導致的不良率問題。

本實用新型輔助貼膜單元在權利要求書中公布了:1.一種輔助貼膜單元,其特征在于,包括:架體,其中形成有腔體,在所述架體的側部和頂部分別開設有均與腔體相連通的移載口和呈圓形的切割口;滑動設置于所述腔體內部、具備加熱及吸附功能以用于承載晶圓的支撐平臺,以及沿豎向設置于所述架體、以用于驅動所述支撐平臺升降的升降機構,所述支撐平臺的直徑小于所述切割口的直徑以能夠滑動至部分所述支撐平臺從所述切割口伸出;具備多級伸縮功能的輔助機構,設置于所述架體一側且其作業端能夠通過所述移載口進出所述腔體以移動至所述支撐平臺上方,所述作業端設置有與所述支撐平臺相適配的吸附盤及負壓清潔組件。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人廣東思沃先進裝備有限公司,其通訊地址為:523000 廣東省東莞市松山湖園區興業路2號13棟;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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