恭喜隆基綠能科技股份有限公司張凱獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜隆基綠能科技股份有限公司申請的專利管式鍍膜設備獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN222700406U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202420644101.1,技術領域涉及:C23C16/50;該實用新型管式鍍膜設備是由張凱;張文帆;陳森;楊龍;周龍偉設計研發完成,并于2024-03-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本管式鍍膜設備在說明書摘要公布了:本申請提供一種管式鍍膜設備,包括爐管、進氣件和輸氣組件。進氣件設置于爐管中,進氣件具有進氣側,進氣側設多個氣孔,多個氣孔沿爐管的軸向方向和垂直于爐管的軸向方向分布。多個氣孔的分布面積大于或等于爐管內的鍍膜區域面積。輸氣組件部分設于爐管內,且連通進氣件。進氣件上的多個氣孔可以在爐管軸向方向上均勻輸出工藝氣體,實現爐管軸向方向上的氣體均勻分布,充分提升基片薄膜厚度的均勻性。
本實用新型管式鍍膜設備在權利要求書中公布了:1.一種管式鍍膜設備,其特征在于,包括:爐管;進氣件,設置于所述爐管中,所述進氣件具有進氣側,所述進氣側設多個氣孔,多個所述氣孔沿所述爐管的軸向方向和垂直于所述爐管的軸向方向分布;多個所述氣孔的分布面積大于或等于所述爐管內的鍍膜區域面積;輸氣組件,所述輸氣組件部分設于所述爐管內,且連通所述進氣件。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人隆基綠能科技股份有限公司,其通訊地址為:710100 陜西省西安市長安區航天中路388號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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