恭喜冪帆科技(上海)股份有限公司徐寶貴獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜冪帆科技(上海)股份有限公司申請的專利一種晶圓全自動壓力烘箱獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN222703668U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202420660648.0，技術領域涉及：F26B5/04；該實用新型一種晶圓全自動壓力烘箱是由徐寶貴設計研發完成，并于2024-04-01向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶圓全自動壓力烘箱在說明書摘要公布了：本實用新型屬于半導體加工技術領域，是關于一種晶圓全自動壓力烘箱，其包括：移載單元，對晶圓進行拾取；烘烤單元，所述移載單元將拾取的晶圓放置燒烤單元內，烘烤單元對晶圓進行烘烤；所述烘烤單元包括烘烤支撐部和倉體，所述倉體連接于烘烤支撐部上；所述倉體內設有用于放置晶圓的晶圓層架，所述倉體內設有加熱單元和降溫單元；所述烘烤支撐部上設有增壓裝置；增壓裝置的氣流輸出端與倉體的容納空間相連通；還包括倉門，活動連接于烘烤支撐部上，所述倉門與倉體的開口端相配合。采用上述結構后，其有益效果是：運用晶圓機器人移載和加熱的操作方式，通過精確的溫度控制，來進行加壓烘烤作業，以此使晶圓得以增強固化。
本實用新型一種晶圓全自動壓力烘箱在權利要求書中公布了：1.一種晶圓全自動壓力烘箱，其特征在于，其包括：移載單元，對晶圓進行拾取；烘烤單元，所述移載單元將拾取的晶圓放置燒烤單元內，烘烤單元對晶圓進行烘烤；所述烘烤單元包括烘烤支撐部和倉體，所述倉體連接于烘烤支撐部上；所述倉體的一端為開口端，倉體的另一端為封閉端；所述倉體具有容納空間，所述容納空間與開口端相通；所述倉體內設有用于放置晶圓的晶圓層架，所述倉體的容納空間內設有加熱單元；所述倉體的容納空間內設有降溫單元；所述烘烤支撐部上設有增壓裝置；增壓裝置的氣流輸出端與倉體的容納空間相連通；還包括倉門，活動連接于烘烤支撐部上，所述倉門與倉體的開口端相配合。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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