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龍圖騰網恭喜珠海基石科技有限公司申請的專利蒸發輸送裝置、設備、控制方法和半導體器件獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN118800694B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-25發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411182022.4，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權蒸發輸送裝置、設備、控制方法和半導體器件是由請求不公布姓名設計研發完成，并于2024-08-26向國家知識產權局提交的專利申請。

本蒸發輸送裝置、設備、控制方法和半導體器件在說明書摘要公布了：一種蒸發輸送裝置、設備、控制方法和半導體器件，涉及設備技術領域，蒸發輸送裝置包括瓶身、瓶蓋和防濺結構。瓶身具有槽腔；瓶蓋扣在瓶身上并和槽腔的開口密封連接，瓶蓋上設置有入流口和出流口；防濺結構位于槽腔內并設置在瓶蓋的內壁上，防濺結構包括第一防濺部和第二防濺部。通過在蒸發輸送裝置中設置防濺結構，能夠有效減少鼓泡破碎產生的顆粒物流入后端腔體的量；通過在設備中設置上述蒸發輸送裝置并使用設備控制方法，可以在不影響前驅體輸送的前提下，有效減少進入設備反應腔的顆粒物量，保障了半導體的良好效果，獲得性能更好的半導體器件。

本發明授權蒸發輸送裝置、設備、控制方法和半導體器件在權利要求書中公布了：1.一種蒸發輸送裝置，其特征在于，包括：瓶身，呈槽型結構，具有用于容納前驅體液的槽腔；瓶蓋，扣在所述瓶身上并和所述槽腔的開口密封連接，所述瓶蓋密封所述槽腔，所述瓶蓋上設置有入流口和出流口；防濺結構，位于所述槽腔內并設置在所述瓶蓋的內壁上，所述防濺結構包括第一防濺部，所述第一防濺部將所述槽腔分隔為第一腔體和第二腔體，所述第一腔體位于所述第一防濺部和所述瓶蓋之間，所述第二腔體位于所述第一防濺部背離所述瓶蓋的一側，所述第一腔體和所述第二腔體連通形成第一彎曲通道；所述防濺結構還包括第二防濺部，所述第二防濺部至少部分位于所述第一腔體內以將所述第一腔體分隔為第一子腔體和第二子腔體，所述第一子腔體和所述第二子腔體連通形成第二彎曲通道，所述第二腔體、所述第二子腔體、所述第一子腔體和所述出流口依次連通，所述第一防濺部包括第一連接部和第一防濺部主體，所述第一腔體位于所述第一防濺部主體和所述瓶蓋之間，所述第一連接部連接在所述第一防濺部主體和所述瓶蓋之間，所述第二防濺部包括第二連接部和第二防濺部主體，所述第二防濺部主體位于所述第一子腔體和所述第二子腔體之間，所述第二連接部連接在所述第二防濺部主體和所述瓶蓋之間，所述第一防濺部還包括位于所述第一防濺部主體兩側的第一側板，所述第一側板分別與所述瓶蓋、所述第一連接部和所述第一防濺部主體連接以圍合形成槽型結構的所述第一腔體，所述第二防濺部還包括位于所述第二防濺部主體兩側的第二側板，所述第二側板分別與所述瓶蓋、所述第二連接部和所述第二防濺部主體連接以圍合形成槽型結構的所述第一子腔體。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人珠海基石科技有限公司，其通訊地址為：519050 廣東省珠海市金灣區南水鎮南水社區南港中路18號1棟602室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。