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龍圖騰網恭喜浙江廣芯微電子有限公司申請的專利一種溝槽肖特基結構的二極管柔性加工管控方法及平臺獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN118969612B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-25發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411452080.4，技術領域涉及：H10D8/01；該發明授權一種溝槽肖特基結構的二極管柔性加工管控方法及平臺是由謝剛;徐顯修設計研發完成，并于2024-10-17向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種溝槽肖特基結構的二極管柔性加工管控方法及平臺在說明書摘要公布了：本發明公開了一種溝槽肖特基結構的二極管柔性加工管控方法及平臺，屬于二極管加工領域，其中方法包括：確定待刻蝕單晶層以及待刻蝕單晶層上的金屬硅化物層；確定溝槽結構參數，根據溝槽結構參數判斷溝槽是否為雙層刻蝕溝槽，若溝槽為雙層刻蝕溝槽，啟動柔性加工管控模塊，柔性加工管控模塊以溝槽結構參數進行分模式溝槽刻蝕。本申請解決了現有技術中針對溝槽肖特基結構的二極管在不同材質層進行溝槽刻蝕時，因材質差異導致的溝槽缺陷和不穩定性的技術問題，通過采用針對不同材質的分模式柔性加工管控，實現溝槽在不同材質間的連續穩定形成，減少了溝槽缺陷，達到提高溝槽肖特基結構二極管性能和良率的技術效果。

本發明授權一種溝槽肖特基結構的二極管柔性加工管控方法及平臺在權利要求書中公布了：1.一種溝槽肖特基結構的二極管柔性加工管控方法，其特征在于，所述方法包括：確定待刻蝕單晶層以及所述待刻蝕單晶層上的金屬硅化物層；確定溝槽結構參數，根據所述溝槽結構參數判斷溝槽是否為雙層刻蝕溝槽，若所述溝槽為雙層刻蝕溝槽，啟動柔性加工管控模塊，所述柔性加工管控模塊以所述溝槽結構參數進行分模式溝槽刻蝕；其中，所述柔性加工管控模塊根據第一柔性加工模式對所述金屬硅化物層進行溝槽刻蝕，若所述柔性加工管控模塊的傳感器檢測到材質變更，由所述第一柔性加工模式切換至第二柔性加工模式對所述待刻蝕單晶層進行溝槽刻蝕；所述柔性加工管控模塊還包括第三柔性加工模式；根據所述待刻蝕單晶層以及所述金屬硅化物層，劃分刻蝕過渡層，其中，所述刻蝕過渡層為所述金屬硅化物層過渡至所述待刻蝕單晶層的中間層；所述柔性加工管控模塊根據所述第三柔性加工模式對所述刻蝕過渡層進行溝槽刻蝕；所述柔性加工管控模塊根據所述第三柔性加工模式對所述刻蝕過渡層進行溝槽刻蝕，方法還包括：設置參數穩態調節網絡，其中，所述參數穩態調節網絡用于對所述柔性加工管控模塊的當前溝槽加工參數進行梯度下降，獲取梯度溝槽加工參數，其中，所述梯度下降為通過計算目標函數的梯度，并沿著梯度的反方向調整變量，其中，所述變量為刻蝕過程中的加工參數，所述目標函數是溝槽表面粗糙度、溝槽顆粒沉積或溝槽結構準確性；所述第三柔性加工模式按照所述梯度溝槽加工參數對所述刻蝕過渡層進行溝槽刻蝕。

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