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龍圖騰網(wǎng)獲悉深圳市易天自動(dòng)化設(shè)備股份有限公司申請(qǐng)的專利一種基于視覺定位的晶圓對(duì)位方法及控制系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119314928B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-25發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202411839453.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/68；該發(fā)明授權(quán)一種基于視覺定位的晶圓對(duì)位方法及控制系統(tǒng)是由高軍鵬;陳輝;黃瑞瑤設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-12-13向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種基于視覺定位的晶圓對(duì)位方法及控制系統(tǒng)在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種基于視覺定位的晶圓對(duì)位方法及控制系統(tǒng)，通過搬運(yùn)模組將晶圓從卡塞中取出，并搬運(yùn)至校正平臺(tái)；通過第一對(duì)位件對(duì)晶圓進(jìn)行初對(duì)位；通過第二對(duì)位件對(duì)晶圓進(jìn)行二次對(duì)位；向多個(gè)伺服電機(jī)發(fā)送控制命令；控制伺服電機(jī)同時(shí)驅(qū)動(dòng)多個(gè)對(duì)位模組，以將晶圓位移至基準(zhǔn)位置；通過搬運(yùn)模組將晶圓運(yùn)輸至貼附平臺(tái)；驅(qū)動(dòng)貼附頭對(duì)晶圓貼附UV膜；通過切刀對(duì)晶圓進(jìn)行仿型切膜；控制搬運(yùn)模組將晶圓運(yùn)輸至卡塞內(nèi)。本發(fā)明通過第一對(duì)位件和第二對(duì)位件對(duì)晶圓進(jìn)行初對(duì)位和二次對(duì)位，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度對(duì)位，且能夠便于后續(xù)貼膜和切膜的進(jìn)行，且能夠同時(shí)驅(qū)動(dòng)多個(gè)伺服電機(jī)將晶圓位移至基準(zhǔn)位置，能夠大幅度地提高晶圓的生產(chǎn)效率。

本發(fā)明授權(quán)一種基于視覺定位的晶圓對(duì)位方法及控制系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種基于視覺定位的晶圓對(duì)位方法，其特征在于，包括以下步驟：通過預(yù)設(shè)的搬運(yùn)模組將晶圓從卡塞中取出，并搬運(yùn)至預(yù)設(shè)的校正平臺(tái)；通過預(yù)設(shè)的第一對(duì)位件對(duì)所述晶圓進(jìn)行初對(duì)位；通過所述第一對(duì)位件獲取所述晶圓的輪廓圖像；通過多個(gè)預(yù)設(shè)的處理器將所述輪廓圖像進(jìn)行圖像預(yù)處理；所述通過多個(gè)預(yù)設(shè)的處理器將所述輪廓圖像進(jìn)行圖像預(yù)處理的步驟中，包括：將所述輪廓圖像的焦點(diǎn)和亮度進(jìn)行可視化處理，并與預(yù)設(shè)的正常圖像作對(duì)比；將所述焦點(diǎn)和所述亮度調(diào)整至與所述正常圖像相同；對(duì)所述輪廓圖像進(jìn)行銳化處理；所述對(duì)所述輪廓圖像進(jìn)行銳化處理的步驟后，包括：對(duì)所述輪廓圖像進(jìn)行初步校正；對(duì)所述輪廓圖像進(jìn)行二次校正；通過預(yù)設(shè)的第二對(duì)位件對(duì)所述晶圓進(jìn)行二次對(duì)位；向多個(gè)預(yù)設(shè)的伺服電機(jī)發(fā)送控制命令；控制所述伺服電機(jī)同時(shí)驅(qū)動(dòng)多個(gè)預(yù)設(shè)的對(duì)位模組，以將所述晶圓位移至基準(zhǔn)位置；通過所述搬運(yùn)模組將所述晶圓運(yùn)輸至預(yù)設(shè)的貼附平臺(tái)，并驅(qū)動(dòng)預(yù)設(shè)的貼附頭對(duì)所述晶圓貼附UV膜；通過預(yù)設(shè)的切刀對(duì)所述晶圓進(jìn)行仿型切膜；控制所述搬運(yùn)模組將所述晶圓運(yùn)輸至所述卡塞內(nèi)。

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