深圳市易天自動(dòng)化設(shè)備股份有限公司高軍鵬獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉深圳市易天自動(dòng)化設(shè)備股份有限公司申請(qǐng)的專利一種基于視覺定位的晶圓對(duì)位方法及控制系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN119314928B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-25發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202411839453.3,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H01L21/68;該發(fā)明授權(quán)一種基于視覺定位的晶圓對(duì)位方法及控制系統(tǒng)是由高軍鵬;陳輝;黃瑞瑤設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2024-12-13向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本一種基于視覺定位的晶圓對(duì)位方法及控制系統(tǒng)在說明書摘要公布了:本發(fā)明提供一種基于視覺定位的晶圓對(duì)位方法及控制系統(tǒng),通過搬運(yùn)模組將晶圓從卡塞中取出,并搬運(yùn)至校正平臺(tái);通過第一對(duì)位件對(duì)晶圓進(jìn)行初對(duì)位;通過第二對(duì)位件對(duì)晶圓進(jìn)行二次對(duì)位;向多個(gè)伺服電機(jī)發(fā)送控制命令;控制伺服電機(jī)同時(shí)驅(qū)動(dòng)多個(gè)對(duì)位模組,以將晶圓位移至基準(zhǔn)位置;通過搬運(yùn)模組將晶圓運(yùn)輸至貼附平臺(tái);驅(qū)動(dòng)貼附頭對(duì)晶圓貼附UV膜;通過切刀對(duì)晶圓進(jìn)行仿型切膜;控制搬運(yùn)模組將晶圓運(yùn)輸至卡塞內(nèi)。本發(fā)明通過第一對(duì)位件和第二對(duì)位件對(duì)晶圓進(jìn)行初對(duì)位和二次對(duì)位,能夠?qū)崿F(xiàn)高精度對(duì)位,且能夠便于后續(xù)貼膜和切膜的進(jìn)行,且能夠同時(shí)驅(qū)動(dòng)多個(gè)伺服電機(jī)將晶圓位移至基準(zhǔn)位置,能夠大幅度地提高晶圓的生產(chǎn)效率。
本發(fā)明授權(quán)一種基于視覺定位的晶圓對(duì)位方法及控制系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了:1.一種基于視覺定位的晶圓對(duì)位方法,其特征在于,包括以下步驟:通過預(yù)設(shè)的搬運(yùn)模組將晶圓從卡塞中取出,并搬運(yùn)至預(yù)設(shè)的校正平臺(tái);通過預(yù)設(shè)的第一對(duì)位件對(duì)所述晶圓進(jìn)行初對(duì)位;通過所述第一對(duì)位件獲取所述晶圓的輪廓圖像;通過多個(gè)預(yù)設(shè)的處理器將所述輪廓圖像進(jìn)行圖像預(yù)處理;所述通過多個(gè)預(yù)設(shè)的處理器將所述輪廓圖像進(jìn)行圖像預(yù)處理的步驟中,包括:將所述輪廓圖像的焦點(diǎn)和亮度進(jìn)行可視化處理,并與預(yù)設(shè)的正常圖像作對(duì)比;將所述焦點(diǎn)和所述亮度調(diào)整至與所述正常圖像相同;對(duì)所述輪廓圖像進(jìn)行銳化處理;所述對(duì)所述輪廓圖像進(jìn)行銳化處理的步驟后,包括:對(duì)所述輪廓圖像進(jìn)行初步校正;對(duì)所述輪廓圖像進(jìn)行二次校正;通過預(yù)設(shè)的第二對(duì)位件對(duì)所述晶圓進(jìn)行二次對(duì)位;向多個(gè)預(yù)設(shè)的伺服電機(jī)發(fā)送控制命令;控制所述伺服電機(jī)同時(shí)驅(qū)動(dòng)多個(gè)預(yù)設(shè)的對(duì)位模組,以將所述晶圓位移至基準(zhǔn)位置;通過所述搬運(yùn)模組將所述晶圓運(yùn)輸至預(yù)設(shè)的貼附平臺(tái),并驅(qū)動(dòng)預(yù)設(shè)的貼附頭對(duì)所述晶圓貼附UV膜;通過預(yù)設(shè)的切刀對(duì)所述晶圓進(jìn)行仿型切膜;控制所述搬運(yùn)模組將所述晶圓運(yùn)輸至所述卡塞內(nèi)。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人深圳市易天自動(dòng)化設(shè)備股份有限公司,其通訊地址為:518000 廣東省深圳市寶安區(qū)沙井街道沙頭社區(qū)沙井南環(huán)路446號(hào)星展廣場1棟A座401;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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