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龍圖騰網(wǎng)恭喜深圳市易天自動化設(shè)備股份有限公司申請的專利一種基于視覺定位的晶圓對位方法及控制系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119314928B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-25發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202411839453.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/68；該發(fā)明授權(quán)一種基于視覺定位的晶圓對位方法及控制系統(tǒng)是由高軍鵬;陳輝;黃瑞瑤設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-12-13向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種基于視覺定位的晶圓對位方法及控制系統(tǒng)在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種基于視覺定位的晶圓對位方法及控制系統(tǒng)，通過搬運模組將晶圓從卡塞中取出，并搬運至校正平臺；通過第一對位件對晶圓進行初對位；通過第二對位件對晶圓進行二次對位；向多個伺服電機發(fā)送控制命令；控制伺服電機同時驅(qū)動多個對位模組，以將晶圓位移至基準位置；通過搬運模組將晶圓運輸至貼附平臺；驅(qū)動貼附頭對晶圓貼附UV膜；通過切刀對晶圓進行仿型切膜；控制搬運模組將晶圓運輸至卡塞內(nèi)。本發(fā)明通過第一對位件和第二對位件對晶圓進行初對位和二次對位，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度對位，且能夠便于后續(xù)貼膜和切膜的進行，且能夠同時驅(qū)動多個伺服電機將晶圓位移至基準位置，能夠大幅度地提高晶圓的生產(chǎn)效率。

本發(fā)明授權(quán)一種基于視覺定位的晶圓對位方法及控制系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種基于視覺定位的晶圓對位方法，其特征在于，包括以下步驟：通過預(yù)設(shè)的搬運模組將晶圓從卡塞中取出，并搬運至預(yù)設(shè)的校正平臺；通過預(yù)設(shè)的第一對位件對所述晶圓進行初對位；通過所述第一對位件獲取所述晶圓的輪廓圖像；通過多個預(yù)設(shè)的處理器將所述輪廓圖像進行圖像預(yù)處理；所述通過多個預(yù)設(shè)的處理器將所述輪廓圖像進行圖像預(yù)處理的步驟中，包括：將所述輪廓圖像的焦點和亮度進行可視化處理，并與預(yù)設(shè)的正常圖像作對比；將所述焦點和所述亮度調(diào)整至與所述正常圖像相同；對所述輪廓圖像進行銳化處理；所述對所述輪廓圖像進行銳化處理的步驟后，包括：對所述輪廓圖像進行初步校正；對所述輪廓圖像進行二次校正；通過預(yù)設(shè)的第二對位件對所述晶圓進行二次對位；向多個預(yù)設(shè)的伺服電機發(fā)送控制命令；控制所述伺服電機同時驅(qū)動多個預(yù)設(shè)的對位模組，以將所述晶圓位移至基準位置；通過所述搬運模組將所述晶圓運輸至預(yù)設(shè)的貼附平臺，并驅(qū)動預(yù)設(shè)的貼附頭對所述晶圓貼附UV膜；通過預(yù)設(shè)的切刀對所述晶圓進行仿型切膜；控制所述搬運模組將所述晶圓運輸至所述卡塞內(nèi)。

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