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恭喜深圳市湃泊科技有限公司;東莞市湃泊科技有限公司安屹獲國家專利權(quán)

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龍圖騰網(wǎng)恭喜深圳市湃泊科技有限公司;東莞市湃泊科技有限公司申請的專利用于制造熱沉的種子層雙面濺射裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN119351963B

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-25發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202411932265.5,技術(shù)領(lǐng)域涉及:C23C14/34;該發(fā)明授權(quán)用于制造熱沉的種子層雙面濺射裝置是由安屹;陳琦;秦太夢;陳維設(shè)計研發(fā)完成,并于2024-12-26向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

用于制造熱沉的種子層雙面濺射裝置在說明書摘要公布了:本申請公開了用于制造熱沉的種子層雙面濺射裝置,包括夾片裝置;每個夾片裝置至少包括:載膜板、托片掩膜和鎖定桿;載膜板上具有若干載膜通槽,載膜通槽一側(cè)開口延伸至載膜板側(cè)壁;位于載膜通槽開口兩側(cè)的底緣設(shè)有載膜階以承托托片掩膜;托片掩膜設(shè)于載膜通槽內(nèi);托片掩膜的相對兩側(cè)邊具有與載膜階配合的外接沿;托片掩膜上設(shè)有覆膜孔,用于容納襯底,且覆膜孔的底部設(shè)有承托襯底的掩膜柵板;每兩個托片掩膜相互扣合以夾持并罩覆襯底;每兩個載膜板相互扣合以約束兩個托片掩膜保持扣合狀態(tài);相互扣合的載膜板通過轉(zhuǎn)軸鉸接,轉(zhuǎn)軸位于載膜板遠離載膜通槽開口的一側(cè),鎖定桿位于載膜板遠離轉(zhuǎn)軸的一側(cè);以完成夾持襯底并完成種子層雙面濺射成型。

本發(fā)明授權(quán)用于制造熱沉的種子層雙面濺射裝置在權(quán)利要求書中公布了:1.一種用于制造熱沉的種子層雙面濺射裝置,其特征在于,包括:夾片裝置;每個所述夾片裝置至少包括:載膜板、托片掩膜和鎖定桿;所述載膜板上具有若干載膜通槽,所述載膜通槽一側(cè)開口延伸至所述載膜板側(cè)壁;位于所述載膜通槽開口兩側(cè)的底緣設(shè)有載膜階,用于承托所述托片掩膜;所述托片掩膜設(shè)于所述載膜通槽內(nèi);所述托片掩膜的相對兩側(cè)邊具有與所述載膜階配合的外接沿;所述托片掩膜上設(shè)有覆膜孔,用于容納襯底,且所述覆膜孔的底部設(shè)有用于承托所述襯底的掩膜柵板;所述夾片裝置中:每兩個所述托片掩膜相互扣合,用于夾持并罩覆所述襯底;每兩個所述載膜板相互扣合,用于約束兩個所述托片掩膜保持扣合狀態(tài);其中,相互扣合的所述載膜板通過轉(zhuǎn)軸鉸接,所述轉(zhuǎn)軸位于所述載膜板遠離所述載膜通槽開口的一側(cè),所述鎖定桿位于所述載膜板遠離所述轉(zhuǎn)軸的一側(cè)以使得相互扣合的所述載膜板保持扣合;所述鎖定桿側(cè)壁設(shè)有夾槽,所述夾槽用于夾持相互扣合的所述載膜板遠離所述轉(zhuǎn)軸的一側(cè);其中,所述載膜板表面與所述夾槽配合處設(shè)有若干導(dǎo)向槽,所述導(dǎo)向槽延長方向與所述轉(zhuǎn)軸的軸線方向夾角為銳角;所述夾槽的相對兩側(cè)壁上設(shè)有與所述導(dǎo)向槽相配合的導(dǎo)向突起;還包括鍍膜艙;所述鍍膜艙內(nèi)底板中心設(shè)有升降孔,所述升降孔中設(shè)有升降滑套;所述升降滑套頂部設(shè)有用于固定所述夾片裝置的固定框;所述鍍膜艙的艙體上嵌入設(shè)有觀察艙,所述觀察艙內(nèi)設(shè)有用于監(jiān)視所述鍍膜艙內(nèi)濺射情況的監(jiān)視相機;所述鍍膜艙下方設(shè)有與所述升降滑套連接的升降機構(gòu)、轉(zhuǎn)向機構(gòu)以分別驅(qū)動所述升降滑套沿自身中心軸線往復(fù)、旋轉(zhuǎn)運動。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人深圳市湃泊科技有限公司;東莞市湃泊科技有限公司,其通訊地址為:518000 廣東省深圳市寶安區(qū)松崗街道江邊社區(qū)江碧環(huán)保科技創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園二號廠房801;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。

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