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恭喜成都漢芯國科集成技術有限公司劉松林獲國家專利權

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龍圖騰網(wǎng)恭喜成都漢芯國科集成技術有限公司申請的專利晶圓級芯片TSV封裝結構及其封裝方法獲國家發(fā)明授權專利權,本發(fā)明授權專利權由國家知識產(chǎn)權局授予,授權公告號為:CN119400774B

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權局官網(wǎng)在2025-03-25發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉:該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為:202411978378.9,技術領域涉及:H01L23/532;該發(fā)明授權晶圓級芯片TSV封裝結構及其封裝方法是由劉松林;賴仕普;左小波;李坤;蔣本建設計研發(fā)完成,并于2024-12-31向國家知識產(chǎn)權局提交的專利申請。

晶圓級芯片TSV封裝結構及其封裝方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明涉及晶圓級芯片TSV封裝結構及其封裝方法,屬于半導體制造技術領域,包括:依次連接的CPU模塊、硅中介層和基板,還包括第一硅通孔、金屬芯以及第一絕緣層,若干第一硅通孔開設于硅中介層,第一硅通孔的開口處開設有緩沖腔;金屬芯填充于第一硅通孔內,CPU模塊通過金屬芯與基板和硅中介層上蝕刻的電路電性連接;第一絕緣層填充于第一硅通孔與金屬芯之間不包括緩沖腔的一段,第一絕緣層具有熱塑性;其能解決現(xiàn)有技術中晶圓級芯片的TSV中填充的導電金屬熱膨脹后導致芯片損壞的技術問題。

本發(fā)明授權晶圓級芯片TSV封裝結構及其封裝方法在權利要求書中公布了:1.晶圓級芯片TSV封裝結構,包括依次連接的CPU模塊(2)、硅中介層(1)和基板(5),其特征在于,還包括:若干第一硅通孔(102),開設于所述硅中介層(1)上,所述第一硅通孔(102)的開口處開設有緩沖腔(209);金屬芯(208),填充于所述第一硅通孔(102)內,所述CPU模塊(2)通過所述金屬芯(208)與所述基板(5)和所述硅中介層(1)上蝕刻的電路電性連接;第一絕緣層(207),填充于所述第一硅通孔(102)與所述金屬芯(208)之間不包括所述緩沖腔(209)的一段,所述第一絕緣層(207)具有熱塑性;所述CPU模塊(2)包括逐層連接的第一晶粒(204)、第二晶粒(203)、第三晶粒(202)以及第四晶粒(201),還包括:第二硅通孔(205),開設于所述第一晶粒(204)上、所述第二晶粒(203)上以及所述第三晶粒(202)上;邏輯單元(401),連接于所述第一晶粒(204)、所述第二晶粒(203)、所述第三晶粒(202)以及所述第四晶粒(201);導線(4012),連接于所述邏輯單元(401)外側;若干引腳(4011),與所述第二硅通孔(205)或所述第一硅通孔(102)電性連接;邏輯導線(4013),連接于所述導線(4012)和所述引腳(4011)之間,所述邏輯導線(4013)基于本身物理性質和環(huán)境因素改變其本身導電性。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯(lián)系本專利的申請人或專利權人成都漢芯國科集成技術有限公司,其通訊地址為:610000 四川省成都市高新區(qū)(西區(qū))合作路89號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。

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