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龍圖騰網(wǎng)恭喜中國科學(xué)院物理研究所申請的專利一種納米級的氣流傳感器及其制備方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN111721965B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-21發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：201910219865.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01P5/08；該發(fā)明授權(quán)一種納米級的氣流傳感器及其制備方法是由張忠山;李俊杰;顧長志;潘如豪設(shè)計研發(fā)完成，并于2019-03-22向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種納米級的氣流傳感器及其制備方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及一種納米級的氣流傳感器，包括：4×N個氣流傳感單元6，其中，N為大于或等于1的整數(shù)；所述氣流傳感單元6包括：支撐襯底2；承載部3，形成在所述支撐襯底2上；壓阻薄膜5，形成在所述承載部3上；電極4，形成在所述壓阻薄膜5上；所述承載部3、壓阻薄膜5和電極4一起形成懸空的部分；所述懸空的部分具有自由的三邊以及一個折邊；所述電極4垂直于所述懸空的部分的折邊平行地設(shè)置；所述氣流傳感單元6以等分圓周的方式對稱分布。本發(fā)明還涉及本發(fā)明的納米級的氣流傳感器的制備方法。本發(fā)明提供的納米級的氣流傳感器的高靈敏度；每個納米級的氣流傳感單元曲向不同，能分辨氣流方向。

本發(fā)明授權(quán)一種納米級的氣流傳感器及其制備方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種納米級的氣流傳感器1，包括：4×N個氣流傳感單元6，其中，N為大于或等于1的整數(shù)；所述氣流傳感單元6包括：支撐襯底2；承載部3，形成在所述支撐襯底2上；壓阻薄膜5，形成在所述承載部3上；電極4，形成在所述壓阻薄膜5上；所述承載部3、壓阻薄膜5和電極4一起形成懸空的部分；所述懸空的部分具有自由的三邊以及一個折邊；所述電極4垂直于所述懸空的部分的折邊平行地設(shè)置；所述氣流傳感單元6以等分圓周的方式對稱分布；兩個相對的納米級的氣流傳感單元構(gòu)成一個軸向的納米級的氣流傳感器，兩個相互垂直的軸向納米級的氣流傳感器實(shí)現(xiàn)兩軸測量；4×N個納米級的氣流傳感單元結(jié)構(gòu)上相互分離并且具有不耦合信號；所述懸空的部分的形狀為矩形。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人中國科學(xué)院物理研究所，其通訊地址為：100190 北京市海淀區(qū)中關(guān)村南三街8號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。