買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)恭喜西安奕斯偉材料科技股份有限公司;西安芯暉設(shè)備技術(shù)有限公司申請(qǐng)的專利一種晶圓中金屬離子分布識(shí)別方法、裝置、電子設(shè)備和可讀存儲(chǔ)介質(zhì)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114332031B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-21發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202111652575.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G06T7/00；該發(fā)明授權(quán)一種晶圓中金屬離子分布識(shí)別方法、裝置、電子設(shè)備和可讀存儲(chǔ)介質(zhì)是由薛兵;韓建峰設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-12-30向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種晶圓中金屬離子分布識(shí)別方法、裝置、電子設(shè)備和可讀存儲(chǔ)介質(zhì)在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種晶圓中金屬離子分布識(shí)別方法、裝置、電子設(shè)備和可讀存儲(chǔ)介。晶圓中金屬離子分布識(shí)別方法包括以下步驟：獲取晶圓的灰度圖像；根據(jù)所述灰度圖像提取所述晶圓的N條灰度曲線，其中，所述晶圓由N個(gè)子區(qū)域構(gòu)成，N為大于1的整數(shù)，所述子區(qū)域的形狀為與所述晶圓的半徑相同的扇形，且所述子區(qū)域的圓心和所述晶圓的圓心重合，每一所述灰度曲線對(duì)應(yīng)一個(gè)所述子區(qū)域，且所述灰度曲線反應(yīng)所述子區(qū)域沿半徑方向的灰度變化；疊加所述灰度曲線獲得所述晶圓的累加灰度曲線；檢測所述累加灰度曲線的波峰，其中，所述累加灰度曲線的波峰對(duì)應(yīng)所述晶圓中的金屬離子分布環(huán)。本發(fā)明實(shí)施例能夠提高金屬離子分布情況的評(píng)估的準(zhǔn)確性和一致性。

本發(fā)明授權(quán)一種晶圓中金屬離子分布識(shí)別方法、裝置、電子設(shè)備和可讀存儲(chǔ)介質(zhì)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓中金屬離子分布識(shí)別方法，其特征在于，包括以下步驟：獲取晶圓的灰度圖像；根據(jù)所述灰度圖像提取所述晶圓的N條灰度曲線，其中，所述晶圓由N個(gè)子區(qū)域構(gòu)成，N為大于1的整數(shù)，所述子區(qū)域的形狀為與所述晶圓的半徑相同的扇形，且所述子區(qū)域的圓心和所述晶圓的圓心重合，每一所述灰度曲線對(duì)應(yīng)一個(gè)所述子區(qū)域，且所述灰度曲線反應(yīng)所述子區(qū)域沿半徑方向的灰度變化；疊加所述灰度曲線獲得所述晶圓的累加灰度曲線；檢測所述累加灰度曲線的波峰，其中，所述累加灰度曲線的波峰對(duì)應(yīng)所述晶圓中的金屬離子分布環(huán)；根據(jù)所述灰度圖像提取所述晶圓的N條灰度曲線，包括：在第n個(gè)子區(qū)域內(nèi)，沿著所述子區(qū)域的半徑方向，獲取各像素點(diǎn)的灰階值以及所述像素點(diǎn)與所述子區(qū)域的圓心之間的距離，其中，n為大于或等于1且小于N的整數(shù)；以所述像素點(diǎn)與所述子區(qū)域的圓心之間的距離為第一維度的坐標(biāo)，以所述像素點(diǎn)的灰階值為第二維度的坐標(biāo)繪制第n個(gè)子區(qū)域的灰度曲線；遍歷所述N個(gè)子區(qū)域，獲得與所述N個(gè)子區(qū)域?qū)?yīng)的N條灰度曲線，其中，位于相鄰兩個(gè)子區(qū)域的邊界上的點(diǎn)的灰階值包含于至多一條所述灰度曲線；疊加所述灰度曲線獲得所述晶圓的累加灰度曲線，包括：以所述第一維度的坐標(biāo)為基準(zhǔn)，將所述N條灰度曲線的第二維度的坐標(biāo)值疊加，獲得累加灰度曲線。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人西安奕斯偉材料科技股份有限公司;西安芯暉設(shè)備技術(shù)有限公司，其通訊地址為：710000 陜西省西安市高新區(qū)西灃南路1888號(hào)1-3-029室；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。