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龍圖騰網恭喜西安奕斯偉材料科技股份有限公司;西安芯暉設備技術有限公司申請的專利一種晶圓中金屬離子分布識別方法、裝置、電子設備和可讀存儲介質獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114332031B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111652575.8，技術領域涉及：G06T7/00；該發明授權一種晶圓中金屬離子分布識別方法、裝置、電子設備和可讀存儲介質是由薛兵;韓建峰設計研發完成，并于2021-12-30向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種晶圓中金屬離子分布識別方法、裝置、電子設備和可讀存儲介質在說明書摘要公布了：本發明提供一種晶圓中金屬離子分布識別方法、裝置、電子設備和可讀存儲介。晶圓中金屬離子分布識別方法包括以下步驟：獲取晶圓的灰度圖像；根據所述灰度圖像提取所述晶圓的N條灰度曲線，其中，所述晶圓由N個子區域構成，N為大于1的整數，所述子區域的形狀為與所述晶圓的半徑相同的扇形，且所述子區域的圓心和所述晶圓的圓心重合，每一所述灰度曲線對應一個所述子區域，且所述灰度曲線反應所述子區域沿半徑方向的灰度變化；疊加所述灰度曲線獲得所述晶圓的累加灰度曲線；檢測所述累加灰度曲線的波峰，其中，所述累加灰度曲線的波峰對應所述晶圓中的金屬離子分布環。本發明實施例能夠提高金屬離子分布情況的評估的準確性和一致性。

本發明授權一種晶圓中金屬離子分布識別方法、裝置、電子設備和可讀存儲介質在權利要求書中公布了：1.一種晶圓中金屬離子分布識別方法，其特征在于，包括以下步驟：獲取晶圓的灰度圖像；根據所述灰度圖像提取所述晶圓的N條灰度曲線，其中，所述晶圓由N個子區域構成，N為大于1的整數，所述子區域的形狀為與所述晶圓的半徑相同的扇形，且所述子區域的圓心和所述晶圓的圓心重合，每一所述灰度曲線對應一個所述子區域，且所述灰度曲線反應所述子區域沿半徑方向的灰度變化；疊加所述灰度曲線獲得所述晶圓的累加灰度曲線；檢測所述累加灰度曲線的波峰，其中，所述累加灰度曲線的波峰對應所述晶圓中的金屬離子分布環；根據所述灰度圖像提取所述晶圓的N條灰度曲線，包括：在第n個子區域內，沿著所述子區域的半徑方向，獲取各像素點的灰階值以及所述像素點與所述子區域的圓心之間的距離，其中，n為大于或等于1且小于N的整數；以所述像素點與所述子區域的圓心之間的距離為第一維度的坐標，以所述像素點的灰階值為第二維度的坐標繪制第n個子區域的灰度曲線；遍歷所述N個子區域，獲得與所述N個子區域對應的N條灰度曲線，其中，位于相鄰兩個子區域的邊界上的點的灰階值包含于至多一條所述灰度曲線；疊加所述灰度曲線獲得所述晶圓的累加灰度曲線，包括：以所述第一維度的坐標為基準，將所述N條灰度曲線的第二維度的坐標值疊加，獲得累加灰度曲線。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人西安奕斯偉材料科技股份有限公司;西安芯暉設備技術有限公司，其通訊地址為：710000 陜西省西安市高新區西灃南路1888號1-3-029室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。