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龍圖騰網(wǎng)恭喜晶澳(揚(yáng)州)太陽能科技有限公司申請(qǐng)的專利一種太陽能電池選擇性發(fā)射極的制備方法及太陽能電池獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114497281B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-21發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202210084988.9，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H10F71/00；該發(fā)明授權(quán)一種太陽能電池選擇性發(fā)射極的制備方法及太陽能電池是由曹兵;陳斌;蔣秀林設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-01-25向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種太陽能電池選擇性發(fā)射極的制備方法及太陽能電池在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及一種太陽能電池選擇性發(fā)射極的制備方法及太陽能電池，該方法包括如下步驟：步驟S1，對(duì)襯底進(jìn)行摻雜元素的擴(kuò)散，在所述襯底的表面形成輕摻雜層并在輕摻雜層上形成包含所述摻雜元素的重?fù)诫s區(qū)擴(kuò)散源層；步驟S2，通過電子束對(duì)所述重?fù)诫s區(qū)擴(kuò)散源層的預(yù)定區(qū)域進(jìn)行照射以使所述摻雜元素進(jìn)一步向所述襯底擴(kuò)散，使得對(duì)應(yīng)于所述預(yù)定區(qū)域的所述襯底的表面形成重?fù)诫s區(qū)，預(yù)定區(qū)域之外的所述襯底的所述表面形成輕摻雜區(qū)。本發(fā)明的制備方法，以重?fù)诫s區(qū)擴(kuò)散源層作為擴(kuò)散源，通過對(duì)重?fù)诫s區(qū)擴(kuò)散源層的預(yù)定區(qū)域進(jìn)行照射，使得重?fù)诫s區(qū)擴(kuò)散源層中的摻雜元素進(jìn)一步向襯底擴(kuò)散，能夠形成圖案化的重?fù)诫s區(qū)，并使所得的重?fù)诫s區(qū)具有較高的表面摻雜濃度。

本發(fā)明授權(quán)一種太陽能電池選擇性發(fā)射極的制備方法及太陽能電池在權(quán)利要求書中公布了：1.一種太陽能電池選擇性發(fā)射極的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：步驟S1，對(duì)襯底進(jìn)行摻雜元素的擴(kuò)散，在所述襯底的表面形成輕摻雜層并在所述輕摻雜層上形成包含所述摻雜元素的重?fù)诫s區(qū)擴(kuò)散源層；以及步驟S2，通過電子束對(duì)所述重?fù)诫s區(qū)擴(kuò)散源層的預(yù)定區(qū)域進(jìn)行多次照射以使所述摻雜元素進(jìn)一步向所述襯底擴(kuò)散，使得對(duì)應(yīng)于所述預(yù)定區(qū)域的所述襯底的表面形成重?fù)诫s區(qū)，所述預(yù)定區(qū)域之外的所述襯底的所述表面形成輕摻雜區(qū)，所述重?fù)诫s區(qū)的表面濃度大于所述輕摻雜區(qū)的表面濃度；所述電子束的加速電壓為0.1～50kV；和或，所述電子束的劑量為1.0E14～1.0E18cm3；通過對(duì)x、y兩相互垂直方向上電場(chǎng)的調(diào)節(jié)，將所述電子束照射在所述重?fù)诫s區(qū)擴(kuò)散源層的預(yù)定區(qū)域上；通過調(diào)節(jié)與所述電子束掃描方向垂直的方向上的電場(chǎng)來控制柵線的間距。

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