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龍圖騰網(wǎng)恭喜中國(guó)科學(xué)院空天信息創(chuàng)新研究院申請(qǐng)的專(zhuān)利一種激光等離子體型極紫外光刻機(jī)光源系統(tǒng)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115052406B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-21發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202210720420.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H05G2/00；該發(fā)明授權(quán)一種激光等離子體型極紫外光刻機(jī)光源系統(tǒng)是由萬(wàn)重怡設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-06-23向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本一種激光等離子體型極紫外光刻機(jī)光源系統(tǒng)在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本公開(kāi)提供了一種激光等離子體型極紫外LPP?EUV光刻機(jī)光源系統(tǒng)，包括：主泵浦激光器，其采用高重復(fù)頻率TEACO2激光系統(tǒng)，用于產(chǎn)生主脈沖激光；預(yù)泵浦皮秒激光器用于產(chǎn)生皮秒激光；光束合束裝置，用于將主脈沖激光及皮秒激光進(jìn)行合束，得到合束后的激光光束；靶材錫液粒發(fā)生器用于產(chǎn)生錫液粒串，錫液粒串在皮秒激光的轟擊下形成霧狀球，霧狀球在主脈沖激光的轟擊下形成高溫等離子體進(jìn)而發(fā)射13.5nm極紫外光；極紫外光收集鏡用于收集及匯聚極紫外光。本公開(kāi)提供的一種激光等離子體型極紫外光刻機(jī)光源系統(tǒng)，該光源系統(tǒng)相對(duì)小型化使得EUV光刻機(jī)具有緊湊、小型的優(yōu)點(diǎn)，適于大批量生產(chǎn)供應(yīng)市場(chǎng)，進(jìn)一步換用釓靶材發(fā)生器或其他靶材可產(chǎn)生波長(zhǎng)為6.7nm或更短波長(zhǎng)的EUV光。

本發(fā)明授權(quán)一種激光等離子體型極紫外光刻機(jī)光源系統(tǒng)在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種LPP-EUV光刻機(jī)光源系統(tǒng)，其特征在于，包括：主泵浦激光器（1），其采用高重復(fù)頻率TEACO2激光系統(tǒng)，用于產(chǎn)生主脈沖激光；預(yù)泵浦皮秒激光器（2），用于產(chǎn)生皮秒激光；光束合束裝置（3），用于將所述主脈沖激光及所述皮秒激光進(jìn)行合束，得到合束后的激光光束；靶材錫液粒發(fā)生器（4），用于產(chǎn)生錫液粒串，所述錫液粒串在所述皮秒激光的轟擊下形成霧狀球，所述霧狀球在所述主脈沖激光的轟擊下形成高溫等離子體進(jìn)而發(fā)射13.5nm極紫外光；極紫外光收集鏡（5），用于收集及匯聚所述極紫外光；碎屑磁偏轉(zhuǎn)器（6），其設(shè)置于泵浦激光聚焦鏡（8）的焦點(diǎn)周?chē)糜谇謇硭鲥a液粒串被轟擊后產(chǎn)生的離子碎屑；真空腔（7），用于為所述靶材錫液粒發(fā)生器（4）、極紫外光收集鏡（5）及碎屑磁偏轉(zhuǎn)器（6）提供真空環(huán)境；其中，所述真空腔（7）上設(shè)置所述泵浦激光聚焦鏡（8），該泵浦激光聚焦鏡（8）用于聚焦合束后的激光光束至液粒上；自動(dòng)同步控制系統(tǒng)（9），其與所述主泵浦激光器（1）、所述預(yù)泵浦皮秒激光器（2）、所述靶材錫液粒發(fā)生器（4）及所述碎屑磁偏轉(zhuǎn)器（6）電連接，用于對(duì)所述主泵浦激光器（1）、所述預(yù)泵浦皮秒激光器（2）、所述靶材錫液粒發(fā)生器（4）及所述碎屑磁偏轉(zhuǎn)器（6）電控制；其中，所述預(yù)泵浦皮秒激光器（2）、所述靶材錫液粒發(fā)生器（4）及所述碎屑磁偏轉(zhuǎn)器（6）的脈沖重復(fù)頻率與所述主泵浦激光器（1）相同；所述主泵浦激光器（1）采用MOPA激光結(jié)構(gòu)，其中，所述MOPA激光結(jié)構(gòu)包括：CO2激光主振蕩器（11），用于產(chǎn)生脈沖激光；調(diào)制器（12），用于對(duì)脈沖激光進(jìn)行調(diào)制得到種子激光；TEACO2激光功率放大器（13），用于對(duì)所述種子激光進(jìn)行功率放大后輸出，其中，所述TEACO2激光功率放大器（13）采用折疊光路，包括：第一折疊鏡（131）及第二折疊鏡（132），其中，所述第一折疊鏡（131）與所述第二折疊鏡（132）相對(duì)設(shè)置，用于反射光路進(jìn)行功率放大。

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