恭喜中國科學院長春光學精密機械與物理研究所趙絡欣獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜中國科學院長春光學精密機械與物理研究所申請的專利一種實現復制光柵槽型穩定的支撐裝置及系統獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN117464595B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202311482350.1,技術領域涉及:B25B11/00;該發明授權一種實現復制光柵槽型穩定的支撐裝置及系統是由趙絡欣;吉日嘎蘭圖;李文昊;王耕;常雯娟設計研發完成,并于2023-11-08向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種實現復制光柵槽型穩定的支撐裝置及系統在說明書摘要公布了:本發明涉及半導體機構技術領域,尤其涉及一種實現復制光柵槽型穩定的支撐裝置及系統,支撐裝置包括支撐結構、第一結構、第二結構以及支撐板。支撐結構內的部分結構中設有預設角度的剛性結構,用于形成復制光柵槽型,以對復制光柵槽型的整體的至少一部分進行固定。第一結構設置于支撐結構的兩側,對支撐結構的整個主體起到支撐作用。第二結構對于不同尺寸的復制光柵槽型的自由度進行定位鎖死。支撐板的一端連接剛性結構的可轉動的第一連接點,另一端為連接第一結構的可轉動的第二連接點。第二結構設置于支撐板的對應兩側的不同位置,以控制復制光柵槽型和母版光柵槽型之間的定位精度。本申請的支撐裝置,保證復制光柵與母版光柵之間槽型的一致性。
本發明授權一種實現復制光柵槽型穩定的支撐裝置及系統在權利要求書中公布了:1.一種實現復制光柵槽型穩定的支撐裝置,其特征在于,所述實現復制光柵槽型穩定的支撐裝置包括:支撐結構,所述支撐結構內的部分結構中設有第一預設角度的剛性結構,所述剛性結構用于形成復制光柵槽型,以對所述復制光柵槽型的整體的至少一部分進行穩定固定;第一結構,設置于所述支撐結構的兩側,所述第一結構用于對所述支撐結構的整個主體起到支撐作用;第二結構,所述第二結構對于不同尺寸的所述復制光柵槽型的自由度進行定位鎖死;支撐板,所述支撐板的一端連接所述剛性結構的可轉動的第一連接點,所述支撐板的另一端連接所述第一結構的可轉動的第二連接點,其中,所述第二結構設置于所述支撐板的對應兩側的不同位置,以控制所述復制光柵槽型和母版光柵槽型之間的定位精度。
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