恭喜應用材料公司V·D·帕克荷獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜應用材料公司申請的專利E吸盤與鋁基構造的結合結構獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN109599356B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-07-04發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201811139451.8，技術領域涉及：H01L21/683；該發明授權E吸盤與鋁基構造的結合結構是由V·D·帕克荷;R·A·林德利設計研發完成，并于2018-09-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本E吸盤與鋁基構造的結合結構在說明書摘要公布了：本公開是將靜電吸盤結合到溫度控制基部的方法。根據實施方式，在包括靜電吸盤的介電主體與溫度控制基部之間形成結合層。流孔延伸穿過介電主體并且與溫度控制基部中的流孔對準。結合層還配置有開口，開口與介電主體和溫度控制基部中的孔對準。在一個方面中，可以將多孔插塞設置在流孔內以保護結合層。在另一方面中，將密封件設置在流孔內以密封結合層，使其與流孔中的氣體隔離。
本發明授權E吸盤與鋁基構造的結合結構在權利要求書中公布了：1.一種結合層結構，包括： 第一主體，具有從其中穿過的第一流孔和設置于其中的電極； 第二主體，具有從其中穿過的第二流孔和設置于其中的通道；和 結合層，設置在所述第一主體與所述第二主體之間，所述結合層包括： 第一結合層，粘附到所述第一主體并且具有延伸穿過所述第一結合層的第一開口；和 第二結合層，直接粘附到所述第一結合并且具有延伸穿過所述第二結合層的第二開口，其中所述第二開口具有大于所述第一開口的第一直徑的第二直徑。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人應用材料公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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