恭喜株式會社日立高新技術(shù)福田真大獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜株式會社日立高新技術(shù)申請的專利帶電粒子槍以及帶電粒子束系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115428114B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-07-04發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202080099514.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J3/02；該發(fā)明授權(quán)帶電粒子槍以及帶電粒子束系統(tǒng)是由福田真大;糟谷圭吾;荒井紀明設(shè)計研發(fā)完成，并于2020-04-23向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本帶電粒子槍以及帶電粒子束系統(tǒng)在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供能夠抑制引出電極中的不均勻的溫度分布的電子槍901以及測長SEM900。電子槍901具備：帶電粒子源1；引出電極3，其從帶電粒子源1引出帶電粒子，并且使帶電粒子的一部分通過，遮蔽帶電粒子的另一部分；以及輔助結(jié)構(gòu)5，其與引出電極3接觸。測長SEM900具備上述的電子槍901和控制電子槍901的計算機系統(tǒng)920。
本發(fā)明授權(quán)帶電粒子槍以及帶電粒子束系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種帶電粒子槍，其特征在于，具備： 帶電粒子源； 引出電極，其從所述帶電粒子源引出帶電粒子，并且使所述帶電粒子的一部分通過，遮蔽所述帶電粒子的另一部分；以及 連續(xù)的傳熱結(jié)構(gòu)，其是與所述引出電極不同的連續(xù)的傳熱結(jié)構(gòu)，其在所述引出電極的外側(cè)，相對于從所述帶電粒子源引出的所述帶電粒子的行進方向，與所述引出電極的至少包含朝向行進方向的垂直的面和平行于行進方向的面的兩個面以上接觸。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人株式會社日立高新技術(shù)，其通訊地址為：日本東京都；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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1、本報告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關(guān)數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結(jié)論僅反映本公司于發(fā)布本報告當日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據(jù)或者憑證。
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