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龍圖騰網獲悉北京京儀自動化裝備技術有限公司申請的專利傳送機械手獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112133665B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-07-04發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011029712.8，技術領域涉及：H01L21/683；該發明授權傳送機械手是由周亮設計研發完成，并于2020-09-27向國家知識產權局提交的專利申請。

本傳送機械手在說明書摘要公布了：本發明涉及半導體加工技術領域，提供一種傳送機械手，包括：基體、電源和靜電發生裝置，基體包括用于支撐晶圓的支撐部，所述支撐部上設置有預設路徑；電源包括正極端和負極端；靜電發生裝置連接于電源，靜電發生裝置包括正電荷端頭和電子端頭，正電荷端頭和電子端頭均設于支撐部；所述正電荷端頭與所述電子端頭在同一所述預設路徑上交替設置。本發明提出的傳送機械手，利用庫侖力對晶圓進行吸附，可實現多種規格的晶圓的傳送，正電荷端頭與電子端頭沿同一預設路徑交替設置，使得電場均勻分布，有助于晶圓均勻受力，保證晶圓穩定傳送，還有助于減小對晶圓的損傷。

本發明授權傳送機械手在權利要求書中公布了：1.一種傳送機械手，其特征在于，包括： 基體，包括用于支撐晶圓的支撐部，所述支撐部上設置有預設路徑； 電源，包括正極端和負極端； 靜電發生裝置，連接于電源，包括正電荷端頭和電子端頭，所述正電荷端頭和所述電子端頭均設于所述支撐部；所述正電荷端頭與所述電子端頭在同一所述預設路徑上交替設置； 所述電源與所述靜電發生裝置之間設置換向部件，所述換向部件處于第一狀態，所述正電荷端頭連接所述正極端，所述電子端頭連接所述負極端；所述換向部件處于第二狀態，所述正電荷端頭連接所述負極端，所述電子端頭連接所述正極端； 所述支撐部設有晶圓接觸器，所述晶圓接觸器凸出于所述支撐部的表面，所述晶圓接觸器的底部設有壓力傳感器； 還包括中央處理器，所述電源和所述壓力傳感器均連接于所述中央處理器，所述中央處理器內存儲有所述靜電發生裝置的輸入電壓與所述壓力傳感器的輸出電壓之間的關系模型，所述電源停止向所述靜電發生裝置供電，根據所述關系模型和所述壓力傳感器的輸出電壓，獲得所述靜電發生裝置的輸入電壓，并切換所述換向部件的狀態，使得所述電源向所述靜電發生裝置供給所述輸入電壓。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京京儀自動化裝備技術有限公司，其通訊地址為：100176 北京市大興區經濟技術開發區涼水河二街8號院14樓A座；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。