恭喜松下知識產(chǎn)權(quán)經(jīng)營株式會社糸井清一獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜松下知識產(chǎn)權(quán)經(jīng)營株式會社申請的專利半導(dǎo)體裝置及其制造方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN111834240B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-06-24發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202010215487.0,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H01L21/60;該發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體裝置及其制造方法是由糸井清一;櫻井大輔設(shè)計研發(fā)完成,并于2020-03-24向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本半導(dǎo)體裝置及其制造方法在說明書摘要公布了:本公開提供一種半導(dǎo)體裝置及其制造方法,該半導(dǎo)體裝置的制造方法能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定的形狀的突起電極。半導(dǎo)體裝置的制造方法包括:樹脂形成工序,利用固化樹脂覆蓋包括多個電極焊盤的半導(dǎo)體元件的表面;突起形成工序,在電極焊盤上形成固化樹脂的突起部,并且使突起部固化;樹脂供給工序,通過耐鍍覆液性樹脂覆蓋突起部;樹脂露出工序,通過除去耐鍍覆液性樹脂的一部分,使突起部的一部分在耐鍍覆液性樹脂的表面上露出;溶解工序,通過除去相當(dāng)于突起部的固化樹脂,從而在耐鍍覆液性樹脂形成空洞部;鍍覆工序,在空洞部填充金屬;和樹脂除去工序,除去耐鍍覆液性樹脂。
本發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體裝置及其制造方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種半導(dǎo)體裝置的制造方法,包括: 樹脂形成工序,利用固化樹脂覆蓋包括多個電極焊盤的半導(dǎo)體元件的表面; 突起形成工序,在所述電極焊盤上形成所述固化樹脂的突起部,并且使所述突起部固化; 樹脂供給工序,通過對鍍覆液具有耐性的耐鍍覆液性樹脂覆蓋所述突起部; 樹脂露出工序,通過除去所述耐鍍覆液性樹脂的一部分,使所述突起部的一部分在所述耐鍍覆液性樹脂的表面上露出; 溶解工序,通過除去相當(dāng)于所述突起部的所述固化樹脂,從而在所述耐鍍覆液性樹脂形成空洞部; 鍍覆工序,在所述空洞部填充金屬;和 樹脂除去工序,除去所述耐鍍覆液性樹脂。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人松下知識產(chǎn)權(quán)經(jīng)營株式會社,其通訊地址為:日本大阪府;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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