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龍圖騰網恭喜普雷賽斯(蘇州)智能科技有限公司申請的專利全自動晶圓形貌厚度測量及分選系統獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223006736U 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-20發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202520927844.4，技術領域涉及：H01L21/66；該實用新型全自動晶圓形貌厚度測量及分選系統是由雷劍鋒;陳皓設計研發完成，并于2025-05-13向國家知識產權局提交的專利申請。

本全自動晶圓形貌厚度測量及分選系統在說明書摘要公布了：本實用新型公開了全自動晶圓形貌厚度測量及分選系統，包括全自動晶圓形貌厚度測量及分選系統，包括機體和安裝于機體上的上料模塊、檢測模塊，機體內部設置有檢測腔，上料模塊包括儲料組件、上料組件、尋邊組件和除塵組件，儲料組件安裝于機體的右側壁，上料組件和尋邊組件內置于檢測腔內，除塵組件安裝于機體的頂部，儲料組件包括兼容載板、位置傳感器、指示燈和確認按鈕。本實用新型通過儲料組件的感應防撞設計、上料組件的映射檢測、尋邊組件的精確定位及平臺組件的抗干擾檢測，實現晶圓的高效、高精度自動化檢測，系統支持模塊化擴展，兼容多種上下料模式及檢測需求，顯著提升檢測準確性與穩定性，適用于半導體制造領域。

本實用新型全自動晶圓形貌厚度測量及分選系統在權利要求書中公布了：1.全自動晶圓形貌厚度測量及分選系統，其特征在于：包括全自動晶圓形貌厚度測量及分選系統，包括機體（1）和安裝于機體（1）上的上料模塊、檢測模塊，所述機體（1）內部設置有檢測腔（2），所述上料模塊包括儲料組件（3）、上料組件（4）、尋邊組件（5）和除塵組件（6），所述儲料組件（3）安裝于機體（1）的右側壁，所述上料組件（4）和尋邊組件（5）內置于檢測腔（2）內，所述除塵組件（6）安裝于機體（1）的頂部，所述儲料組件（3）包括兼容載板（7）、位置傳感器（8）、指示燈（9）和確認按鈕（10），所述位置傳感器（8）安裝于兼容載板（7）的上方且檢測端正對兼容載板（7），所述指示燈（9）安裝于位置傳感器（8）的上方，所述確認按鈕（10）安裝于兼容載板（7）的拐角處，所述上料組件（4）包括機器人本體（11）和安裝于機器人本體（11）頂部的牙叉（12），所述機器人本體（11）的頂部還配備有映射測量儀（13），所述尋邊組件（5）包括XYR運動平臺（14）、讀碼OCR（15）、視覺模塊（16）和載臺（17），所述讀碼OCR（15）設置于XYR運動平臺（14）的上方，所述視覺模塊（16）位于讀碼OCR（15）的一側，所述載臺（17）位于視覺模塊（16）的上方，所述檢測模塊包括檢測組件（18）和平臺組件（19）且兩者均設置于檢測腔（2）內。

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