買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網恭喜深圳中科飛測科技股份有限公司申請的專利承載裝置及檢測設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119725208B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510226533.X，技術領域涉及：H01L21/683；該發明授權承載裝置及檢測設備是由馬硯忠;江和齡;高志民;陳魯設計研發完成，并于2025-02-27向國家知識產權局提交的專利申請。

本承載裝置及檢測設備在說明書摘要公布了：本申請涉及晶圓檢測技術領域，具體涉及承載裝置及檢測設備。承載裝置包括承載部和限位部，其中，承載部具有用于承載待測物的承載面。限位部與承載部連接并處于承載部的外圍，待測物放置在承載部上后，限位部能夠對待測物進行止擋，阻止待測物相對承載部滑動，待測物處于承載部的承載面時，懸空空間能夠使待測物邊緣處于懸空狀態，這樣待測物與承載裝置邊緣接觸的地方受到一個向上的支撐力以及待測物懸空部分本身受到一個向下的重力，然后利用支撐力和重力方向相反，互相影響，從而減小承載部對待測物邊緣膜厚數據的影響，提高待測物邊緣處的膜厚測量數據準確性，改善目前的待測物邊緣處的膜厚測量數據準確性低的問題。

本發明授權承載裝置及檢測設備在權利要求書中公布了：1.一種承載裝置，所述承載裝置用于承載待測物供光學檢測系統進行檢測，其特征在于，包括： 承載部，所述承載部具有用于承載待測物的承載面；所述承載部通過真空吸附的方式固定所述待測物； 限位部，所述限位部與所述承載部連接并處于所述承載部的外圍，所述限位部用于止擋限位所述待測物；所述限位部包括限位基體和設置在所述限位基體上的止擋結構；所述止擋結構的頂面高于所述承載面，以使所述止擋結構對所述待測物止擋限位； 所述承載部與所述止擋結構、所述限位基體圍成有懸空空間，所述懸空空間用于容納所述待測物超出所述承載部的部分，以減小所述承載部對所述待測物邊緣膜厚數據的影響。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人深圳中科飛測科技股份有限公司，其通訊地址為：518000 廣東省深圳市龍華區觀瀾街道新瀾社區觀光路1301-14號101、102；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。