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龍圖騰網恭喜中北大學申請的專利一種單端自由的復合懸臂梁振動傳感器及其制備方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119880125B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510370013.6，技術領域涉及：G01H11/08；該發明授權一種單端自由的復合懸臂梁振動傳感器及其制備方法是由耿文平;劉娟;丑修建;喬驍駿;李曉黃;王學文;賀浩然;張慧毅;李稼禾;汪子涵;楊凌霄設計研發完成，并于2025-03-27向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種單端自由的復合懸臂梁振動傳感器及其制備方法在說明書摘要公布了：本發明涉及半導體器件技術領域，具體為一種單端自由的復合懸臂梁振動傳感器及其制備方法。為了解決現有技術中的振動傳感器存在靈敏度較低的問題，故提供了一種新的單端自由的復合懸臂梁振動傳感器，包括邊框、中心質量塊、四個H型懸臂梁以及連接梁，每個H型懸臂梁均由兩個主梁和副梁組成，每個H型懸臂梁的兩個主梁均與中心質量塊的對應邊平行布置，每個連接梁的一端均與對應的H型懸臂梁的其中一個主梁的中部外側垂直連接，四個連接梁的另一端分別與中心質量塊的四個角部連接，四個H型懸臂梁的一端部分別與邊框的四條邊垂直連接，主梁上均布置有功能電極。本發明所述的振動傳感器具有更高的靈敏度。

本發明授權一種單端自由的復合懸臂梁振動傳感器及其制備方法在權利要求書中公布了：1.一種單端自由的復合懸臂梁振動傳感器，其特征在于，包括邊框（1）、中心質量塊（2）、四個懸臂梁組，邊框（1）、中心質量塊（2）、四個懸臂梁組均由硅基鈮酸鋰鍵合片經MEMS工藝形成，硅基鈮酸鋰鍵合片為Si基底正面生長一層SiO2膜后與LiNbO3晶片鍵合而成，四個懸臂梁組分別布置于中心質量塊（2）的四周，每個懸臂梁組均包括H型懸臂梁以及連接梁（3），每個H型懸臂梁均由兩個平行布置的主梁（4）和連接于兩個主梁（4）之間的副梁（5）組成，每個H型懸臂梁的兩個主梁（4）均與中心質量塊（2）的對應邊平行布置，每個連接梁（3）的一端均與對應的H型懸臂梁的其中一個主梁（4）的中部外側垂直連接，四個連接梁（3）的另一端分別與中心質量塊（2）的四個角部連接，四個H型懸臂梁的一端部分別與邊框（1）的四條邊垂直連接，每個主梁（4）上均布置有功能電極（6）。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中北大學，其通訊地址為：030051 山西省太原市尖草坪區學院路3號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。