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龍圖騰網(wǎng)恭喜上海邦芯半導(dǎo)體科技有限公司申請的專利晶圓減薄片的應(yīng)力監(jiān)測方法及監(jiān)測裝置、半導(dǎo)體工藝設(shè)備獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119901399B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-06-13發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510389811.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01L1/22；該發(fā)明授權(quán)晶圓減薄片的應(yīng)力監(jiān)測方法及監(jiān)測裝置、半導(dǎo)體工藝設(shè)備是由方子豪;王兆祥;桂智謙;涂樂義;梁潔設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-03-31向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本晶圓減薄片的應(yīng)力監(jiān)測方法及監(jiān)測裝置、半導(dǎo)體工藝設(shè)備在說明書摘要公布了：本公開提供晶圓減薄片的應(yīng)力監(jiān)測方法及監(jiān)測裝置、半導(dǎo)體工藝設(shè)備。在應(yīng)力監(jiān)測方法中，將多個應(yīng)力監(jiān)測組件一一對應(yīng)地設(shè)置于晶圓加熱盤的多個監(jiān)測點，多個應(yīng)力監(jiān)測組件中電阻式應(yīng)變傳感器通過組合構(gòu)建應(yīng)變監(jiān)測電路；獲得與各個電阻式應(yīng)變傳感器相關(guān)的電性參數(shù)的實測數(shù)據(jù)，通過將各個電阻式應(yīng)變傳感器相關(guān)的電性參數(shù)的實測數(shù)據(jù)與其基準值作比較，獲得各個電阻式應(yīng)變傳感器相關(guān)的電性參數(shù)的變化量及變化分布特性，判定晶圓減薄片是否存在移位或翹曲的問題。該技術(shù)方案具有流程簡單、不會影響半導(dǎo)體工藝制程、檢測精確、并在監(jiān)測到晶圓減薄片存在移位或翹曲時采取相應(yīng)的調(diào)整措施有利于后續(xù)半導(dǎo)體晶片的制程工藝，提升良率。

本發(fā)明授權(quán)晶圓減薄片的應(yīng)力監(jiān)測方法及監(jiān)測裝置、半導(dǎo)體工藝設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓減薄片的應(yīng)力監(jiān)測方法，其特征在于，應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備中，所述晶圓減薄片的應(yīng)力監(jiān)測方法包括如下步驟： 提供晶圓減薄片應(yīng)力監(jiān)測裝置，將晶圓減薄片應(yīng)力監(jiān)測裝置配置于半導(dǎo)體工藝設(shè)備中；所述晶圓減薄片應(yīng)力監(jiān)測裝置包括多個應(yīng)力監(jiān)測組件，一一對應(yīng)地設(shè)置于晶圓加熱盤的多個監(jiān)測點；每一個應(yīng)力監(jiān)測組件包括可伸縮式頂針，所述可伸縮式頂針具有用于頂托晶圓減薄片的頂托部和與所述頂托部相對的底部，在所述可伸縮式頂針的底部連接有電阻式應(yīng)變傳感器；多個應(yīng)力監(jiān)測組件中的電阻式應(yīng)變傳感器通過組合連接后構(gòu)建應(yīng)變監(jiān)測電路； 獲得所述應(yīng)變監(jiān)測電路中與各個應(yīng)力監(jiān)測組件中電阻式應(yīng)變傳感器相關(guān)的電性參數(shù)的實測數(shù)據(jù)； 通過將各個應(yīng)力監(jiān)測組件中電阻式應(yīng)變傳感器相關(guān)的電性參數(shù)的實測數(shù)據(jù)與所述電性參數(shù)的基準值作比較，獲得各個電阻式應(yīng)變傳感器相關(guān)的電性參數(shù)的變化量及變化分布特性，據(jù)此判定晶圓減薄片是否存在移位或翹曲的問題；其中，所述電性參數(shù)的基準值是通過多個可伸縮式頂針將基準晶圓減薄片頂托至不同檢測高度，并在每個檢測高度下檢測多個可伸縮式頂針所對應(yīng)的電阻式應(yīng)變傳感器相關(guān)的電性參數(shù)數(shù)值所確定的。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人上海邦芯半導(dǎo)體科技有限公司，其通訊地址為：201306 上海市浦東新區(qū)中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)臨港新片區(qū)平霄路358號7號廠房、9號廠房；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。