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龍圖騰網(wǎng)恭喜華海清科(北京)科技有限公司申請的專利邊緣打磨裝置、邊緣打磨方法、晶圓切邊設(shè)備及切邊方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119927758B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-06-13發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510428498.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B24B21/00；該發(fā)明授權(quán)邊緣打磨裝置、邊緣打磨方法、晶圓切邊設(shè)備及切邊方法是由趙德文;陳鐵;劉遠(yuǎn)航;鮑偉成設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-04-08向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本邊緣打磨裝置、邊緣打磨方法、晶圓切邊設(shè)備及切邊方法在說明書摘要公布了：本申請?zhí)峁┮环N邊緣打磨裝置、邊緣打磨方法、晶圓切邊設(shè)備及切邊方法。邊緣打磨裝置包括安裝座、承載臺和一個或多個打磨機構(gòu)，承載臺配置成以環(huán)形臺階朝上的方式承載切邊晶圓，一個或多個打磨機構(gòu)固定在安裝座上并距承載臺的圓心距離相同；打磨機構(gòu)包括：固定到安裝座的安裝柱；自安裝柱的頂端朝向承載臺的圓心延伸的打磨器，打磨器包括分別設(shè)置在其兩端的主動輪和從動輪以及套裝至主動輪和從動輪并由主動輪驅(qū)動的打磨帶，打磨器能夠在豎直平面內(nèi)繞安裝柱的頂端朝向承載臺擺動以使打磨帶抵靠環(huán)形臺階的棱邊進(jìn)行打磨，以及背離承載臺擺動以避免干涉切邊晶圓的取放。本申請的技術(shù)方案能夠有效平滑化切邊晶圓的邊緣，顯著降低應(yīng)力集中。

本發(fā)明授權(quán)邊緣打磨裝置、邊緣打磨方法、晶圓切邊設(shè)備及切邊方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種邊緣打磨裝置，其特征在于，晶圓的外周緣被切削后形成具有環(huán)形臺階的切邊晶圓，所述邊緣打磨裝置配置成打磨所述環(huán)形臺階的棱邊，并包括安裝座、固定在所述安裝座上的承載臺和固定在所述安裝座上并距所述承載臺的圓心距離相同的一個或多個打磨機構(gòu)，所述承載臺配置成以所述環(huán)形臺階朝上的方式承載所述切邊晶圓； 所述打磨機構(gòu)包括： 固定到所述安裝座的安裝柱； 自所述安裝柱的頂端朝向所述承載臺的圓心延伸的打磨器，所述打磨器包括分別設(shè)置在其兩端的主動輪和從動輪以及套裝至所述主動輪和所述從動輪并由所述主動輪驅(qū)動的打磨帶，所述打磨器能夠在豎直平面內(nèi)繞所述安裝柱的頂端朝向所述承載臺擺動以使所述打磨帶抵靠所述環(huán)形臺階的棱邊進(jìn)行打磨，以及背離所述承載臺擺動以避免干涉所述切邊晶圓的取放； 使所述打磨器擺動的擺動組件，其包括：滑桿，其設(shè)置在所述安裝柱的背對所述承載臺的一側(cè)并且一端可滑動地連接到所述安裝柱；支撐件，其分別與所述主動輪、所述從動輪以及所述滑桿的另一端可轉(zhuǎn)動地連接，并且所述支撐件與所述主動輪的連接點、與所述從動輪的連接點、與所述滑桿的連接點三者形成三角形的三個頂點；所述支撐件包括第一支撐桿和第二支撐桿，所述第一支撐桿的兩端分別可轉(zhuǎn)動地連接到所述主動輪和所述滑桿，所述第二支撐桿的兩端分別可轉(zhuǎn)動地連接到所述從動輪和所述滑桿；所述第二支撐桿長于所述第一支撐桿，并且所述主動輪和所述從動輪的連線與所述第一支撐桿之間的夾角大于在所述打磨帶抵靠所述環(huán)形臺階的棱邊時所述主動輪和所述從動輪的連線與豎直向上方向的夾角，以使所述第一支撐桿、第二支撐桿和滑桿的連接點在所述打磨器擺動過程中始終位于所述安裝柱外側(cè)； 罩設(shè)在所述打磨帶之外的防護(hù)殼以及安裝到防護(hù)殼的頂壁的預(yù)壓微調(diào)裝置，所述預(yù)壓微調(diào)裝置包括柔性的接觸塊，所述接觸塊設(shè)置在所述打磨帶與所述環(huán)形臺階的接觸部分的背面，并配置成將所述打磨帶抵壓到所述環(huán)形臺階，所述預(yù)壓微調(diào)裝置配置成調(diào)節(jié)所述接觸塊與所述頂壁之間的間距以調(diào)節(jié)所述接觸塊對所述打磨帶的壓力。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人華海清科(北京)科技有限公司，其通訊地址為：100000 北京市大興區(qū)經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)地盛北街1號院40號樓11層1107室；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。