恭喜株式會社荏原制作所;平田機工株式會社江藤洋平獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜株式會社荏原制作所;平田機工株式會社申請的專利輸送裝置和工件處理裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN111799200B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-10發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010272604.7，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權輸送裝置和工件處理裝置是由江藤洋平;國澤淳次;本坊光朗;金澤敬治設計研發完成，并于2020-04-09向國家知識產權局提交的專利申請。
本輸送裝置和工件處理裝置在說明書摘要公布了：本發明是輸送裝置、工件處理裝置、輸送裝置的控制方法、存儲程序的記錄介質，抑制輸送裝置內的結露。輸送裝置具備：主體部；回旋部，該回旋部被設置為相對于所述主體部回旋自如；臂，該臂支承于所述回旋部；以及末端執行器，該末端執行器設置于所述臂的頂端部，并對工件進行保持，所述輸送裝置還具備：氣體供給單元，該氣體供給單元向所述末端執行器的臂側基部和或所述臂的頂端部的臂側內部空間供給氣體；以及排氣單元，該排氣單元設置在與所述臂側內部空間連通的主體側內部空間，并對所述臂側內部空間和或所述主體側內部空間的氣體進行排氣。
本發明授權輸送裝置和工件處理裝置在權利要求書中公布了：1.一種輸送裝置，其特征在于，具備：主體部；回旋部，該回旋部被設置為相對于所述主體部回旋自如；臂，該臂支承于所述回旋部；以及末端執行器，該末端執行器設置于所述臂的頂端部，并對工件進行保持，所述輸送裝置還具備：氣體供給單元，該氣體供給單元向所述末端執行器的臂側基部和或所述臂的頂端部的臂側內部空間供給氣體；以及排氣單元，該排氣單元設置在與所述臂側內部空間連通的主體側內部空間，并對所述臂側內部空間和或所述主體側內部空間的氣體進行排氣。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人株式會社荏原制作所;平田機工株式會社，其通訊地址為：日本國東京都大田區羽田旭町11番1號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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