恭喜朗姆研究公司斯蒂芬·托平獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜朗姆研究公司申請的專利調諧電路中基于頻率的阻抗調整獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114730688B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-10發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080078827.8，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權調諧電路中基于頻率的阻抗調整是由斯蒂芬·托平;卡爾·弗雷德里克·利瑟;大衛·弗倫奇;吉恩·吉米·王;布蘭特·亨利設計研發完成，并于2020-10-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本調諧電路中基于頻率的阻抗調整在說明書摘要公布了：一種用于在處理室內處理襯底的襯底處理系統包括匹配網絡、第一調諧電路和控制器。所述匹配網絡從RF產生器接收具有第一頻率的第一RF信號并且使所述匹配網絡的輸入與所述RF產生器的輸出阻抗匹配。所述調諧電路不同于所述匹配網絡且包含具有第一阻抗的電路部件。所述調諧電路接收所述匹配網絡的輸出并且將第二RF信號輸出至襯底支撐件的第一電極。所述控制器確定用于所述電路部件的目標阻抗并且基于所述目標阻抗，對所述RF產生器發出信號，以將在所述匹配網絡處接收到的所述第一RF信號的所述第一頻率調整為第二頻率，從而改變所述電路部件的所述第一阻抗以匹配所述目標阻抗。
本發明授權調諧電路中基于頻率的阻抗調整在權利要求書中公布了：1.一種襯底處理系統，其包含：匹配網絡，其被配置成從射頻產生器接收具有第一頻率的第一射頻信號并且使所述匹配網絡的輸入與所述射頻產生器的輸出阻抗匹配；第一調諧電路，其不同于所述匹配網絡且包含具有第一阻抗的第一電路部件，所述第一調諧電路被配置成接收所述匹配網絡的輸出并且將第二射頻信號輸出至襯底支撐件中的第一電極；以及控制器，其被配置成確定用于所述第一電路部件的目標阻抗并且基于所述目標阻抗，對所述射頻產生器發出信號，以將在所述匹配網絡處接收到的所述第一射頻信號的所述第一頻率調整為第二頻率，從而改變所述第一電路部件的所述第一阻抗以匹配所述目標阻抗。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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