恭喜臺灣積體電路制造股份有限公司林孟漢獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜臺灣積體電路制造股份有限公司申請的專利半導體裝置以及制造半導體裝置的方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN112992908B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-10發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202011311530.X,技術領域涉及:H10B41/35;該發明授權半導體裝置以及制造半導體裝置的方法是由林孟漢;謝智仁;黃志斌;詹景文設計研發完成,并于2020-11-20向國家知識產權局提交的專利申請。
本半導體裝置以及制造半導體裝置的方法在說明書摘要公布了:提供一種半導體裝置以及制造半導體裝置的方法。該方法包含在基板的周邊區域中,形成第一隔離特征;在形成第一隔離特征之后,凹陷基板的單元區域;在凹陷基板的單元區域之后,在基板的單元區域中,形成第二隔離特征;在基板的單元區域上,形成多個控制柵極;以及在基板的周邊區域上,形成柵極堆疊。
本發明授權半導體裝置以及制造半導體裝置的方法在權利要求書中公布了:1.一種制造半導體裝置的方法,其特征在于,包含:在一基板的一周邊區域中,蝕刻一第一溝槽;以一第一介電材料填滿該第一溝槽,以在該第一溝槽中形成一第一隔離特征;在以該第一介電材料填滿該第一溝槽之后,凹陷該基板的一單元區域;在凹陷該基板的該單元區域之后,在該基板的該單元區域中,形成一第二隔離特征;在該基板的該單元區域上,形成多個控制柵極;以及在該基板的該周邊區域上,形成一柵極堆疊。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人臺灣積體電路制造股份有限公司,其通訊地址為:中國臺灣新竹市新竹科學工業園區力行六路八號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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