恭喜鎧俠股份有限公司細(xì)田達(dá)矢獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜鎧俠股份有限公司申請的專利半導(dǎo)體裝置、存儲設(shè)備、及晶體管的制造方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN114203808B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-06-10發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202110249966.9,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H10D64/27;該發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體裝置、存儲設(shè)備、及晶體管的制造方法是由細(xì)田達(dá)矢;成田容久設(shè)計研發(fā)完成,并于2021-03-08向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本半導(dǎo)體裝置、存儲設(shè)備、及晶體管的制造方法在說明書摘要公布了:實(shí)施方式提供一種能夠使特性穩(wěn)定提高的半導(dǎo)體裝置、存儲設(shè)備、及晶體管的制造方法。實(shí)施方式的半導(dǎo)體裝置具備襯底、襯底上的柵極絕緣膜、積層半導(dǎo)體層、及積層半導(dǎo)體層上或積層半導(dǎo)體層的上方的金屬層。積層半導(dǎo)體層具有:第1層,形成在柵極絕緣層上,并且包含摻雜有磷的多晶半導(dǎo)體;第2層,形成在第1層上,并且包含摻雜有碳的多晶半導(dǎo)體;及第3層,形成在第2層上,并且包含摻雜有磷或未摻雜磷的多晶半導(dǎo)體。第3層的磷含量少于第1層的磷含量,或第3層不含磷。
本發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體裝置、存儲設(shè)備、及晶體管的制造方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種半導(dǎo)體裝置,具備:襯底;所述襯底上的柵極絕緣層;積層半導(dǎo)體層,具有:第1層,形成在所述柵極絕緣層上,并且包含摻雜有磷的多晶半導(dǎo)體;第2層,形成在所述第1層上,并且包含摻雜有碳的多晶半導(dǎo)體;及第3層,形成在所述第2層上,并且包含摻雜有磷或未摻雜磷的多晶半導(dǎo)體;以及所述積層半導(dǎo)體層上或所述積層半導(dǎo)體層的上方的金屬層;且所述第3層的磷含量少于所述第1層的磷含量,或所述第3層中不含磷。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人鎧俠股份有限公司,其通訊地址為:日本東京;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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