恭喜江西兆馳半導(dǎo)體有限公司竇志珍獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜江西兆馳半導(dǎo)體有限公司申請的專利一種紅黃GaAs系LED芯片制備方法及LED芯片獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN114551657B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-06-10發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202210110581.9,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H10H20/01;該發(fā)明授權(quán)一種紅黃GaAs系LED芯片制備方法及LED芯片是由竇志珍;蘭曉雯;楊琦;賈釗;胡加輝;金從龍;顧偉設(shè)計研發(fā)完成,并于2022-01-29向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本一種紅黃GaAs系LED芯片制備方法及LED芯片在說明書摘要公布了:本發(fā)明提供一種紅黃GaAs系LED制備方法及芯片,所述方法包括:提供GaAs襯底;在所述GaAs襯底上生長外延層;在所述外延層上依次生長第一碳摻GaP層以及第二碳摻GaP層,并在所述第二碳摻GaP層上蒸鍍AuBe;通過退火使所述AuBe中的Be離子擴散至所述第二碳摻GaP層中,后蝕刻蒸鍍的所述AuBe以露出所述第二碳摻GaP層;在所述第二碳摻GaP層生長CB層,并在所述CB層上設(shè)置鏡面金屬層。相比于現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明在兼顧高出光效率的同時避免了芯片的整體電壓偏高。
本發(fā)明授權(quán)一種紅黃GaAs系LED芯片制備方法及LED芯片在權(quán)利要求書中公布了:1.一種紅黃GaAs系LED芯片制備方法,其特征在于,所述方法包括:提供GaAs襯底;在所述GaAs襯底上生長外延層;在所述外延層上依次生長第一碳摻GaP層以及第二碳摻GaP層,并在所述第二碳摻GaP層上蒸鍍AuBe;通過退火使所述AuBe中的Be離子擴散至所述第二碳摻GaP層中,后蝕刻蒸鍍的所述AuBe以露出所述第二碳摻GaP層;在所述第二碳摻GaP層生長CB層,并在所述CB層上設(shè)置鏡面金屬層;所述通過退火使所述AuBe中的Be離子擴散至所述第二碳摻GaP層中,后蝕刻蒸鍍的所述AuBe以露出所述第二碳摻GaP層的步驟中,所述Be離子比例為15%~20%;所述在所述外延層上依次生長第一碳摻GaP層以及第二碳摻GaP層,并在所述第二碳摻GaP層上蒸鍍AuBe的步驟包括:在所述外延層上生長設(shè)定摻雜濃度的第一碳摻GaP層,然后以每預(yù)設(shè)摻雜濃度為一個臺階過渡至設(shè)定濃度的過渡GaP層,接著繼續(xù)生長設(shè)定摻雜濃度的第二碳摻GaP層,并在所述第二碳摻GaP層上蒸鍍AuBe。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人江西兆馳半導(dǎo)體有限公司,其通訊地址為:330000 江西省南昌市南昌高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)天祥北大道1717號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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