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恭喜歌爾微電子股份有限公司鄒泉波獲國家專利權

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龍圖騰網恭喜歌爾微電子股份有限公司申請的專利一種微機電系統麥克風及電子設備獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116939454B

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-06-10發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210343062.7,技術領域涉及:H04R19/00;該發明授權一種微機電系統麥克風及電子設備是由鄒泉波設計研發完成,并于2022-03-31向國家知識產權局提交的專利申請。

一種微機電系統麥克風及電子設備在說明書摘要公布了:本公開實施例公開了一種微機電系統麥克風及電子設備。該微機電系統麥克風包括襯底、振膜和背極板。振膜具有固定部和懸空部,背極板上形成有支撐結構,支撐結構將懸空部劃分為內懸空區和外懸空區。本公開通過創造性地設置支撐結構,將振膜劃分為內懸空區和外懸空區,以提高位于支撐結構內部的內懸空區的相對硬度,進而能夠在保證產品頻率帶寬的同時增大振膜面積,降低噪音,提高信噪比,提高麥克風產品整體性能。

本發明授權一種微機電系統麥克風及電子設備在權利要求書中公布了:1.一種微機電系統麥克風,其特征在于,包括:襯底(1),所述襯底(1)上形成聲腔(001);振膜(2),所述振膜(2)具有固定部(21)和懸空部(22),所述固定部(21)固定在所述襯底(1)上,所述懸空部(22)位于所述聲腔(001)上;背極板(3),所述背極板(3)設置在所述襯底(1)上,所述背極板(3)與所述振膜(2)之間形成有間隙,所述背極板(3)上形成有環形分布的支撐結構(31),所述支撐結構(31)朝向所述振膜(2)延伸并且與所述懸空部(22)的位置對應,所述支撐結構(31)將所述懸空部(22)劃分為內懸空區(221)和外懸空區(222);在所述背極板(3)和或振膜(2)通電的情況下,所述懸空部(22)被配置為能與所述支撐結構(31)抵接,使所述內懸空區(221)和所述外懸空區(222)均能被聲壓激發產生振動;所述內懸空區(221)的機械靈敏度和所述外懸空區(222)的機械靈敏度的差值小于或等于15%;所述內懸空區(221)的臨界電壓和所述外懸空區(222)的臨界電壓的差值小于或等于15%,使得所述懸空部(22)的所述內懸空區(221)與所述外懸空區(222)的電信號保持一致。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人歌爾微電子股份有限公司,其通訊地址為:266101 山東省青島市嶗山區科苑緯一路1號青島國際創新園二期F樓;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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