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龍圖騰網(wǎng)恭喜合肥晶合集成電路股份有限公司申請(qǐng)的專利一種半導(dǎo)體測(cè)試結(jié)構(gòu)的擺放方法、裝置、設(shè)備及介質(zhì)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119742301B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-06-03發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510228947.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L23/544；該發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體測(cè)試結(jié)構(gòu)的擺放方法、裝置、設(shè)備及介質(zhì)是由齊天翔;龔偉;沈愛緒設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-02-28向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種半導(dǎo)體測(cè)試結(jié)構(gòu)的擺放方法、裝置、設(shè)備及介質(zhì)在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體測(cè)試結(jié)構(gòu)的擺放方法、裝置、設(shè)備及介質(zhì)，擺放方法包括：在晶圓上，獲取待進(jìn)行測(cè)試的目標(biāo)區(qū)域；在目標(biāo)區(qū)域上，統(tǒng)計(jì)出多個(gè)主芯片區(qū)、多個(gè)切割道區(qū)的位置，其中，切割道區(qū)位于主芯片區(qū)的周側(cè)；在部分切割道區(qū)內(nèi)，擺放光刻標(biāo)記，并將其他切割道區(qū)記為測(cè)試結(jié)構(gòu)的擺放區(qū)域；基于待擺放的測(cè)試結(jié)構(gòu)預(yù)設(shè)的位置信息，與擺放規(guī)則庫中的擺放規(guī)則進(jìn)行對(duì)比，獲取待擺放的測(cè)試結(jié)構(gòu)對(duì)應(yīng)的當(dāng)前擺放規(guī)則；根據(jù)當(dāng)前擺放規(guī)則的優(yōu)先級(jí)順序，先后對(duì)目標(biāo)區(qū)域進(jìn)行網(wǎng)格劃分，得到不同的網(wǎng)格區(qū)域及對(duì)應(yīng)的網(wǎng)格坐標(biāo)；根據(jù)當(dāng)前擺放規(guī)則的優(yōu)先級(jí)順序，將對(duì)應(yīng)的待擺放的測(cè)試結(jié)構(gòu)擺放至擺放區(qū)域的網(wǎng)格區(qū)域中。本發(fā)明可提高測(cè)試結(jié)構(gòu)的擺放效率。

本發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體測(cè)試結(jié)構(gòu)的擺放方法、裝置、設(shè)備及介質(zhì)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種半導(dǎo)體測(cè)試結(jié)構(gòu)的擺放方法，其特征在于，包括：在晶圓上，獲取待進(jìn)行測(cè)試的目標(biāo)區(qū)域；在所述目標(biāo)區(qū)域上，統(tǒng)計(jì)出多個(gè)主芯片區(qū)、多個(gè)切割道區(qū)的位置，其中，所述切割道區(qū)位于所述主芯片區(qū)的周側(cè)；在部分所述切割道區(qū)內(nèi)，擺放光刻標(biāo)記，并將其他所述切割道區(qū)記為測(cè)試結(jié)構(gòu)的擺放區(qū)域；基于待擺放的測(cè)試結(jié)構(gòu)預(yù)設(shè)的位置信息，與擺放規(guī)則庫中的擺放規(guī)則進(jìn)行對(duì)比，獲取所述待擺放的測(cè)試結(jié)構(gòu)對(duì)應(yīng)的當(dāng)前擺放規(guī)則，其中，所述擺放規(guī)則庫中的擺放規(guī)則表征為在所述擺放區(qū)域上，對(duì)不同的測(cè)試結(jié)構(gòu)按照對(duì)應(yīng)的位置信息進(jìn)行擺放；根據(jù)所述當(dāng)前擺放規(guī)則的優(yōu)先級(jí)順序，先后對(duì)所述目標(biāo)區(qū)域進(jìn)行網(wǎng)格劃分，得到不同的網(wǎng)格區(qū)域及對(duì)應(yīng)的網(wǎng)格坐標(biāo)，其中，所述待擺放的測(cè)試結(jié)構(gòu)的網(wǎng)格區(qū)域和網(wǎng)格坐標(biāo)之間的關(guān)聯(lián)度與所述當(dāng)前擺放規(guī)則的優(yōu)先級(jí)順序相關(guān)；根據(jù)所述當(dāng)前擺放規(guī)則的優(yōu)先級(jí)順序，將對(duì)應(yīng)的所述待擺放的測(cè)試結(jié)構(gòu)擺放至所述擺放區(qū)域的網(wǎng)格區(qū)域中；其中，所述基于待擺放的測(cè)試結(jié)構(gòu)預(yù)設(shè)的位置信息，與擺放規(guī)則庫中的擺放規(guī)則進(jìn)行對(duì)比，獲取所述待擺放的測(cè)試結(jié)構(gòu)對(duì)應(yīng)的當(dāng)前擺放規(guī)則的步驟，包括：基于待擺放的測(cè)試結(jié)構(gòu)的位置信息，獲取所述待擺放的測(cè)試結(jié)構(gòu)在所述目標(biāo)區(qū)域上的網(wǎng)格區(qū)域及對(duì)應(yīng)的網(wǎng)格坐標(biāo)；按照所述擺放規(guī)則庫中擺放規(guī)則的優(yōu)先級(jí)順序，依次對(duì)所述待擺放的測(cè)試結(jié)構(gòu)的網(wǎng)格區(qū)域及對(duì)應(yīng)的網(wǎng)格坐標(biāo)之間的關(guān)聯(lián)度進(jìn)行分析，獲取所述待擺放的測(cè)試結(jié)構(gòu)對(duì)應(yīng)的當(dāng)前擺放規(guī)則，其中，所述擺放規(guī)則庫中擺放規(guī)則的優(yōu)先級(jí)順序，與不同的測(cè)試結(jié)構(gòu)在所述目標(biāo)區(qū)域上的網(wǎng)格區(qū)域和網(wǎng)格坐標(biāo)的關(guān)聯(lián)度相關(guān)；其中，所述按照所述擺放規(guī)則庫中擺放規(guī)則的優(yōu)先級(jí)順序，依次對(duì)所述待擺放的測(cè)試結(jié)構(gòu)的網(wǎng)格區(qū)域及對(duì)應(yīng)的網(wǎng)格坐標(biāo)之間的關(guān)聯(lián)度進(jìn)行分析的步驟，包括：將不同的測(cè)試結(jié)構(gòu)之間具有網(wǎng)格區(qū)域關(guān)聯(lián)及網(wǎng)格坐標(biāo)關(guān)聯(lián)的擺放規(guī)則，記為高優(yōu)先級(jí)的擺放規(guī)則；將不同的測(cè)試結(jié)構(gòu)之間具有網(wǎng)格區(qū)域關(guān)聯(lián)或者網(wǎng)格坐標(biāo)關(guān)聯(lián)的擺放規(guī)則，記為中優(yōu)先級(jí)的擺放規(guī)則；將不同的測(cè)試結(jié)構(gòu)之間不具有網(wǎng)格區(qū)域關(guān)聯(lián)或者網(wǎng)格坐標(biāo)關(guān)聯(lián)的擺放規(guī)則，記為低優(yōu)先級(jí)的擺放規(guī)則；按照擺放規(guī)則的高優(yōu)先級(jí)、中優(yōu)先級(jí)、低優(yōu)先級(jí)的順序，依次對(duì)所述待擺放的測(cè)試結(jié)構(gòu)的網(wǎng)格區(qū)域及對(duì)應(yīng)的網(wǎng)格坐標(biāo)之間的關(guān)聯(lián)度進(jìn)行分析。

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