恭喜蘇州晶湛半導(dǎo)體有限公司程凱獲國(guó)家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜蘇州晶湛半導(dǎo)體有限公司申請(qǐng)的專利半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其制作方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN114730703B 。
龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-30發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:201980102497.9,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H01L21/20;該發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其制作方法是由程凱設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2019-12-05向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其制作方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了:一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其制作方法,提供P型半導(dǎo)體層11,P型半導(dǎo)體層包括GaN基材料,且上表面11a為Ga面;在P型半導(dǎo)體層上形成第一N型半導(dǎo)體層12,第一N型半導(dǎo)體層包括GaN基材料,且上表面12a為N面;濕法刻蝕去除部分區(qū)域的第一N型半導(dǎo)體層,暴露所述P型半導(dǎo)體層。
本發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其制作方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了:1.一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于,包括:提供P型半導(dǎo)體層(11),所述P型半導(dǎo)體層(11)包括GaN基材料,且上表面(11a)為Ga面;在所述P型半導(dǎo)體層(11)上形成第一N型半導(dǎo)體層(12),所述第一N型半導(dǎo)體層(12)包括GaN基材料,且上表面(12a)為N面;濕法刻蝕去除部分區(qū)域的第一N型半導(dǎo)體層(12),暴露所述P型半導(dǎo)體層(11);其中,利用濕法刻蝕的方向性,使得從第一N型半導(dǎo)體層的N面開(kāi)始刻蝕,自動(dòng)停止于P型半導(dǎo)體層的Ga面;其中,在所述P型半導(dǎo)體層(11)上形成上表面(12a)為N面的第一N型半導(dǎo)體層(12)通過(guò):將所述第一N型半導(dǎo)體層(12)的Ga面直接與所述P型半導(dǎo)體層(11)的Ga面鍵合。
如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人蘇州晶湛半導(dǎo)體有限公司,其通訊地址為:215123 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)西北區(qū)20幢517-A室;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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