恭喜北京華卓精科科技股份有限公司;北京優微精密測控技術研究有限公司孫巖獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜北京華卓精科科技股份有限公司;北京優微精密測控技術研究有限公司申請的專利密封方法及粘結工裝獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114607769B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-30發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011433203.1，技術領域涉及：F16J15/06；該發明授權密封方法及粘結工裝是由孫巖;金實;周二虎;張利設計研發完成，并于2020-12-09向國家知識產權局提交的專利申請。
本密封方法及粘結工裝在說明書摘要公布了：本發明提供一種密封方法及粘結工裝，涉及半導體制造領域。該方法用于密封光刻機部件的縫隙，包括：模切膠帶，獲得與待粘結縫隙形狀匹配的粘結帶；層疊粘結至少兩層支撐膜，然后模切位于最外層的支撐膜，得到用于容納膠帶的通槽，并形成粘結工裝；將粘結帶粘結至通槽內；將粘結帶粘結至待粘結縫隙，并揭掉粘結工裝。該方法中，制作的粘結工裝具有至少兩層支撐膜，將粘結帶粘結至粘結工裝的通槽內后，支撐膜對粘結帶起到支撐作用，使粘結帶不易發生變形而維持平整，從而密封時，粘結帶的各部位能夠同時與待粘結物體接觸，平整地粘結于待粘結物體，嚴格地密封待粘結縫隙；粘結帶維持平整不變形，還有利于避免氣泡產生，進而保證密封效果。
本發明授權密封方法及粘結工裝在權利要求書中公布了：1.一種密封方法，用于密封光刻機部件的縫隙，其特征在于，該密封方法包括：模切膠帶，獲得與待粘結縫隙形狀匹配的膠帶部分即粘結帶；層疊粘結至少兩層支撐膜，然后模切位于最外層的支撐膜，得到用于容納膠帶的通槽，同時形成粘結工裝；將膠帶的背側即膠帶不具有膠粘劑的一側粘結至通槽內；將粘結帶具有膠粘劑的一側粘結至待粘結縫隙，并揭掉粘結工裝。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京華卓精科科技股份有限公司;北京優微精密測控技術研究有限公司，其通訊地址為：100176 北京市大興區北京經濟技術開發區科創十街19號院2號樓2層(北京自貿試驗區高端產業片區亦莊組團)；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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