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龍圖騰網(wǎng)恭喜東方日升(常州)新能源有限公司申請的專利硅片懸浮傳輸機(jī)構(gòu)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN113506762B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-30發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202110729705.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/677；該發(fā)明授權(quán)硅片懸浮傳輸機(jī)構(gòu)是由許明現(xiàn);蔡涔;谷士斌;胡林;馬勝濤;張杜超;洪昀設(shè)計研發(fā)完成，并于2021-06-29向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本硅片懸浮傳輸機(jī)構(gòu)在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及一種硅片懸浮傳輸機(jī)構(gòu)，包括懸浮載臺，所述懸浮載臺的一側(cè)表面設(shè)有多個氣孔，以通過所述氣孔往外吹出氣體和或?qū)怏w抽吸進(jìn)所述懸浮載臺內(nèi)，以使硅片懸浮于所述懸浮載臺設(shè)有所述氣孔的一側(cè)；所述懸浮載臺上設(shè)有限位機(jī)構(gòu)，所述限位機(jī)構(gòu)具有可活動的止擋件，所述止擋件能夠活動至從所述硅片遠(yuǎn)離所述懸浮載臺的一側(cè)擋住所述硅片的邊緣部分。本發(fā)明提供的硅片懸浮傳輸機(jī)構(gòu)，通過設(shè)置氣孔實現(xiàn)了硅片在懸浮載臺一側(cè)表面的懸浮，通過設(shè)置限位機(jī)構(gòu)，且限位機(jī)構(gòu)具有可活動的止擋件，可從硅片遠(yuǎn)離懸浮載臺的一側(cè)攔住硅片，從而使得硅片能夠始終懸浮在懸浮載臺設(shè)有氣孔的一側(cè)。如此，可降低對氣浮控制的要求。

本發(fā)明授權(quán)硅片懸浮傳輸機(jī)構(gòu)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種硅片懸浮傳輸機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括懸浮載臺100，所述懸浮載臺100的一側(cè)表面設(shè)有多個氣孔101，所述氣孔101往外吹出氣體和或?qū)怏w抽吸進(jìn)所述懸浮載臺100內(nèi)，以使硅片900懸浮于所述懸浮載臺100設(shè)有所述氣孔101的一側(cè)；所述懸浮載臺100內(nèi)設(shè)有相互獨立的第一腔103和第二腔104，所述氣孔101包括第一孔1011和第二孔1012，所述第一孔1011與所述第一腔103連通，所述第二孔1012與所述第二腔104連通，所述懸浮載臺100上設(shè)有限位機(jī)構(gòu)200，所述限位機(jī)構(gòu)200具有可轉(zhuǎn)動的止擋件210，所述止擋件210能夠轉(zhuǎn)動至從所述硅片900遠(yuǎn)離所述懸浮載臺100的一側(cè)擋住所述硅片900的邊緣部分。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人東方日升(常州)新能源有限公司，其通訊地址為：213200 江蘇省常州市金壇市直溪鎮(zhèn)工業(yè)集中區(qū)水南路1號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。