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龍圖騰網恭喜馬卡羅有限公司申請的專利具有非對稱電熱絲結構的基座加熱器塊獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116324029B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-30發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202180069006.2，技術領域涉及：C23C16/458；該發明授權具有非對稱電熱絲結構的基座加熱器塊是由李俊皞;崔東鐵;安世赫;洪明基;樸珍萬設計研發完成，并于2021-10-07向國家知識產權局提交的專利申請。

本具有非對稱電熱絲結構的基座加熱器塊在說明書摘要公布了：本發明提供一種用于化學氣相沉積機的基座加熱器塊，其特征在于，表面設置有真空施加結構以通過真空吸附固定晶圓，具有用于向晶圓背面供應溫度均勻化用氣體的供氣孔和用于加熱晶圓的電熱絲，所述電熱絲的設置成在相當于晶圓中心部的加熱器塊的中心部大于其外側的周圍部。其中，為了便于設置，電熱絲的布置可以采用耳蝸狀等非對稱式，而不是左右對稱式，在非對稱式的情況下，可以設置成彈筒式加熱器。根據本發明，當晶圓或基板放置于基座加熱器塊并執行化學氣相沉積工藝時，對基板背面施加低壓，如3托以下的低壓而真空吸附力增加時，通過在相當于晶圓中容易成為低溫的位置的加熱器塊的中心部以大于周圍部的設置密度設置加熱器，能夠在沉積工藝過程中整個晶圓的溫度偏差與現有技術相比減少，能夠提高晶圓上沉積的膜的厚度均勻度和均質性。

本發明授權具有非對稱電熱絲結構的基座加熱器塊在權利要求書中公布了：1.一種具有非對稱電熱絲結構的基座加熱器塊，其是用于化學氣相沉積機的基座加熱器塊，表面設置有真空施加結構以通過真空吸附固定晶圓，具有用于向晶圓背面供應溫度均勻化用氣體的供氣孔和用于加熱晶圓的電熱絲，其特征在于，將所述真空施加結構和所述供氣孔對晶圓背面施加的背面壓力設定為3托以下的低壓，所述加熱器塊由鋁或鋁合金制成，所述電熱絲設置成設置密度在加熱器塊的中心部大于其外側的周圍部；所述電熱絲的電流輸入端和輸出端疊放并僅形成在電熱絲一側且電線為疊放雙層的彈筒式；電熱絲的端子連接至加熱器塊的后側桿，折彎的電熱絲的端子穿過后蓋的通孔，并通過其后側桿的中心與外部電源的連接，電熱絲通過位于加熱器塊的中心部的電熱絲端部實現與外部電源的連接。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人馬卡羅有限公司，其通訊地址為：韓國京畿道平澤市產團路103-14；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。